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Special
Report
特別企劃

綜合以上，實際以F14P1-P4 氮之管制將依其廢(污)水排放依是否在水源水質水量保護區而有所不
250 CMD TMAH系統為例， 同。其中，保護區內適用10 mg/L之限值，而保護區外之新設事業限
生物處理處理法-上流式厭 值為20 mg/L，既設事業限值為30 mg/L。另考量既有事業緩衝期因
氧污泥床(Upflow Anaerobic 應，預計採兩階段管制：第一階段限值為75 mg/L，實施期限將另行
Sludge Bed；UASB)所需面積 公布；如需進行工程等改善措施者，得提出放流水污染物削減管理計
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約9 0 0m ，比樹脂回收法多 畫，經核定並依計畫內容執行者，預定其管制預計自民國102年7月1
20~30%，而兩者操作成本皆約 日起實施。第二階段限值為30 mg/L，給予較長時間供既設事業進行
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NTD 200元/m ，無太大差異。 具體廢水處理設施改善，預計自民國104年7月1日起施行。目前，各
但相較之下，回收TMAH廢液同 科學園區管理局現正積極討論制訂氨氮納管標準與收費標準，預估實
時可解決廢水排放氨氮與總氮問 施之日，時不遠矣。
題，顯然是工業界另一可運用之 ● 生物急毒性管制
[9]
替代方案。 環保署已於民國99年12月15日發布修正之「放流水標準」 ，其
中所增訂「光電材料及元件製造業」及「石油化學專業區以外之工業
TMAH 區」之生物急毒性TUa限值為1.43，如修正條文第二條。但因應管制
廢液回收目的 現況，計劃研擬是否變更不以生物急毒性方式繼續管制，但將加入其
他污染物管制濃度，如以上氨氮管制濃度等，仍會朝向日趨嚴格之生
態環境保護。
隨 著科技日益進步，人類對 目前大部分園區廠商做法為中和稀釋後排放或再經生物處理後排
於環保的意識也逐漸重
放，以上兩種做法均無法解決總氮排放的問題，使得TMAH廢液回收
視，降低生產所排放的廢棄物對
成為有效的解決辦法，並且可以實現企業對環境保護的承諾、提昇企
生態的影響為當前主要課題，因
業形象及減少產品的碳足跡。
此政府將逐漸針對氨氮的排放及
生物急毒性之影響採取新的措施
與規範，摘要如下述： TMAH廢液回收原理與流程
● TMAH排放管制
MAH廢液回收原理看似很簡單：只要將廢液濃縮且提高TMAH濃
因南部科學園區光電產業廢 T度，同時將其中不純物如金屬離子及光阻劑等移除即可。但多數
水佔園區總廢污水排放量七成以 半導體廠商TMAH廢液濃度僅0.1~1.2%，如直接濃縮至25%勢必須消
上，鑑於光電業製程使用大量有 耗許多能源，並存在著TMAH分解的風險，也會使得商業化且不切實
機溶劑，雖高濃度廢液於製程端 際。
回收再使用，但低濃度廢液排入 TMAH廢液回收在日本已行之有年，本土之化學供應商如長春、三
園區污水下水道系統仍會增加污 福等亦致力研究多時，長春石化在台積電 F12P4/P5及F14P1~4已開
水廠有機負荷及處理複雜性。南 始現場安裝試車，三福化工亦已在奇美光電廠六廠運轉。通常TMAH
科管理局於民國96年3月22日 廢液回收程序分為現地(On-Site)回收前處理系統，及廠外(Off-Site)
舉辦公聽會，決議將TMAH 列 回收廠純化系統，如圖四。通常，在現地(On-Site)回收前處理系統，
入廢水納管的指標，其納管濃度
為60 mg/L，並於民國98年3月
22日開始實施。納管特定物質
收費標準: TMAH收費單價每公 純 水 On-Site TMAH 回收前處理系統
斤1000元 [6] 。目前，新竹科學 再生酸
(0.1%-1.2%)
園區科管局，研討訂定TMAH納 TMA＜60ppm
TMAH 廢水 前處理 樹 脂 放流水
管濃度，雖未定案仍在討論中， HX: 10%-11% TMA + 12%-13%

HX 回收酸 TMAX
但顯然勢必將TMAH列入列管
[7] 。至於中部科學園區管理局目 廢水處理系統
( by tank truck)
前雖無列管，預期指日可待。
超純水 Off-Site TMAH 回收廠純化系統
● 氨氮排放管制
TMAX 前處理 純 化 電 解 25% TMAH
環保署於民國100年6月16日
廢水處理系統 HX
頒佈「晶圓製造及半導體製造業
[8]
放流水標準」草案 (目前未定 (by tanktruck)
案，仍在討論中)，其中對於氨 圖四、TMAH廢液回收程序 [1]

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