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先將低濃度(0.1~1.2%)
TMAH廢液濃縮至高濃度 脫附劑投入 HCI or H SO 4
2
TMA+廢液(＞10%)，再運
收集槽 選擇性陽離子塔 出流水
送至回收廠精製純化。
在現地(On-Site)回收前 0 1 1 排放至廢水放流池
TMAH 脫附成濃縮 ＞ TMAH＜60ppm
處理系統中，可利用陽離
或可經RO再回收純水
子交換樹脂吸附TMAH的 Lorry out 至回收再利用廠
方法將TMAH濃縮做初步
的提升，如圖五所示。此 圖五、樹脂法回收TMAH廢液
方法為用陽離子交換樹脂
+
上的H 與TMAH中的TMA +
+
進行離子交換使TMA 吸附 V
於樹脂上(此時大部分光阻
O 2 H 2
及界面活性劑並不會被樹
X -
+
脂吸附)，接著再以酸H X -
(HCl或H 2 SO 4 )將樹脂再生 HX TMAX TMAH
+
同時將TMA 脫附下來可產
TMA +
生高濃度TMAX，其化學
反應式如下：
Anode Anion Cation Cathode
exchange
exchange
+
TMA OH - + H + - H O 2e - +1/2 O + 2H + Membrane Membrane H O + e - OH - + 1/2 H
Resin+Photo-resist 2 2 2 2
+
→TMA -Resin 圖六、電透析回收TMAH廢液 [1] [10]
+H 2 O
+
+
+
+
H X - +TMA -Resin →TMA X - +H -Resin
濃度10%以上之TMAX在off-site回收廠內會再經蒸發濃縮後經電解純化，或經電透析純化 [1] [10] （圖六)為25%
四甲基氫氧化銨(TMAH-R)後，回收販賣給清洗劑或LCD業者使用。
TMAH廢液現地前處理回收介紹與模廠測試

以 F14P1-4 TMAH現地(On-Site)回收前處理系統為例 [11] ，主要設備為陽離子串聯式二塔型樹脂吸附塔，其
+
中第一塔處理功能為充份利用樹脂之交換能力吸附最大量的TMA ，待第二塔穿透時再進行脫附再生；第
+
二塔功能為確保樹脂塔產水水中TMAH濃度低於60ppm後排放。經樹脂吸附後之濃縮TMA 將經鹽酸脫附後產生
10%以上之TMAC，載運回長春苗栗工廠再行濃縮、純化及電解產生回收產物25% TMAH-R，其流程圖如圖七
所示。

0.1~1.2% TMAH
Waste Water HCI Cooling Water
10% TMAC Resin Towers
H O-R
Transportation 2
UF/NF/RO
CCP
Waste Water
treatment system
圖七、F14P1-4長春回收前處理系統流程 [11]

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL APRIL 2012 11