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圖一、廢棄液回收系統流程圖

廢液排放
濃度監測
回收液

新液補充
回收液
貯存槽 半透膜

收集槽 調整槽

供應給
吸附塔 使用者

大幅增加，顯而易見的，未來製程所 度雙氧水，再運用氨氮處理技術(如 供應至機台端使用；經由上述純化製
產生的廢料處理將更為重要。若無 氣提塔、透氣膜)將廢水中的氨分離 程來達到直接回收再利用的效果(參
法減量或透過有效的處理與回收， 成高濃度的含氨化合物後，委外回收 考 圖一)。
將對環境造成極大的傷害，這絕對 於廠外進一步濃縮轉換成較高濃度 目前廢氨液的回收處理概念仍在開
不是我們為了追求高科技進步所願 之氨液(通常>20%)，以利焚化廠空 發實驗階段，其回收效率、氨液味道
意犧牲的代價;因此，在未來18吋超 污設施回收再重新利用。 與廢渣的處理等還有待解決；回收系
大型晶圓廠的設計，我們必須投注更 很明顯的，未來18吋晶圓生產所產生 統的設置必須要做到廢液直接回收
多的心力在這個議題上，像是未來如 的廢液量會越來越大，若能將所排 處理至機台端再利用，才有實質的效
何更有效的將工廠製程產生的廢酸 放的廢液直接回收供機台使用，而非 益。
與廢鹼回收與再利用。 先排入廢水系統從中進行分離萃取 若要有 效的達 到原物料減 量與減
來回收，這樣的處理會使回收更有效 廢，廢液的直接回收再利用就顯得
率，並且降低廢水系統的處理量，來 格 外重 要；目前 業 界 在 回 收 系 統
達到更大程度的綠化。 上 的 技術以 回 收 四 鉀 基氫 氧化 銨
化學廢液回收 基於以上想法，現今業界已開始針對 (TMAH)、鋁蝕刻液(Al-etch)及光阻
製程上所排放的較大量的廢液直接 液(Stripper)相對成熟，我們也已開始
處理再回收利用，如廢硫酸與廢氨 將四鉀基氫氧化銨之回收放入新建
目前，半 導體製程 所排放的廢酸 /
液，已開始進行研究測試；以廢氨液 廠之設計規劃中。至於在其它廢酸
鹼，高濃度部分採取委外回收，機台
而言，其處理概念是在機台端設置專 與廢鹼的回收技術上也正在開發測
後段清洗所夾雜之少量廢酸/鹼則排
管先將其收集至收集槽，經由泵浦 試中，如硫酸、氨水及雙氧水。
入廢水系統之方式進行處理後再行
(Pump)輸送至半透膜設備進行廢液 隨著未來18吋晶圓生產的到來，各
排放。像是一般鹼性廢水之排放，往
雜質去除，再經吸附塔進行金屬離 種能源及原物料的消耗將大幅增加；
往伴隨著高濃度的氨(Ammonia)與
子吸附及交換來純化廢液。由於在廢 如果能達到高回收效率再利用，不僅
雙氧水(Hydrogen peroxide)，具有
液純化過程及製程端排放時之濃度 降低了生產成本，對綠色環保與節能
污染性與生物毒性等特性。目前的做
會下降，在回收製程的末端將再添加 的助益將更大。
法，鹼性廢水會先以活性碳移除高濃
新液來調整至製程所需之濃度，後再

鄭昭平 C.P. Cheng
座右銘：態度決定了高度
格局決定了結局，共勉之

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL OCTOBER 2012 83