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Vision
新象新知
文│鄭昭平│廠務技術發展專案│
Waste Chemical
Technology
Recycle
化學廢液回收再利用技術
18 吋 (450mm) 晶圓這個名字在半導體產業從 2007 年的初試啼聲，到現在大家已耳熟能詳，其所代表
的意義，18 吋已不再是“做”與“不做”的爭議，而是反應出對它的需求越來越重要，且勢在必行。
摩爾定律依然主宰半導體技術的發展進程，間接也指引成本下降的趨勢。過去的發展歷史告訴我們，
當技術遇到瓶頸無法有效向下微縮來達到摩爾定律的電晶體數增加以促使電晶體單位成本下降時，就
必須透過晶圓面積的擴大來降低成本，我想這也是 18 吋目前必須加速發展的最重要原因。
如同過去的 8 吋 (200mm) 晶圓轉換至 12 吋 (300mm) 晶圓過程所遇到的問題，未來 12 吋轉換到 18 吋，
也絕對會面臨同樣的難度與挑戰，由於現在所面對的製程更精密，無疑地其遭遇的困難度將會更高。
要能有效克服這些問題，IC 設計、晶圓製造、生產機台與材料供應商彼此間的合作必須更緊密，並提
早開始進行規劃與溝通，也唯有如此，才能加速實現 18 吋量產的時程，創造共生共榮的利基。
前言 會。比較起建置一座12吋規模晶圓廠所需30~40
億美金的花費，18吋晶圓廠不再只是高造價(100
億美金)的大型生產製造工廠，它更代表著高能源
未來18吋的晶圓廠，除了須克服高階制程與機台
端技術的瓶頸外，環保節能與碳足跡，絕對是更重 的消耗與高污染的產生。除了基本的水電大量消
要的工作，否則它就沒有存在的價值與成功的機 耗之外，18吋製程對氣體與化學原料的需求量將
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