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技術專文

圖十三、M65e ST-250 Data [2]

200

150
Partical Counts 100

50

0
12:28:09 12:40:00 12:50:00 13:00:00 13:10:00 13:20:00 13:30:00 13:40:00 13:50:00 14:00:00 14:10:00 14:19:09

Item Plot Channels Data Type Minimum Maximum Average Std Dev 2010/2/2
HSLIS m65E Norm Counts x > 0.06 Value 0.000 171.667 20.432 34.652
HSLIS m65E Norm Counts 0.06 < x < 0.10 Value 0.000 86.667 2.145 9.112
HSLIS m65E Norm Counts 0.10 < x < 0.15 Value 0.000 130.000 16.682 27.091
HSLIS m65E Norm Counts 0.15 < x < 0.20 Value 0.000 10.000 1.003 2.103
HSLIS m65E Norm Counts x > 0.20 Value 0.000 8.333 0.602 1.425
History Size: 1 hour (Statistics Generated For Plot Duration)
Plot filter: None
Alt Plot filter: None
Filter join: Off
Flyer filter: None

圖十四、UltraChem-40 ST-250 Data [2]

200

150

Partical Counts 100

50

0
12:40:00 12:50:00 13:00:00 13:10:00 13:20:00 13:30:00 13:40:00 13:50:00 14:00:00 14:10:00 14:20:00 14:30:00
2010/2/2
Item Plot Channels Data Type Minimum Maximum Average Std Dev
Ulter Chem 40 Norm Counts x > 0.04 Value 30.882 728.969 141.488 116.115
Ulter Chem 40 Norm Counts 0.04 < x < 0.07 Value 23.529 412.483 94.499 61.302
Ulter Chem 40 Norm Counts 0.07 < x < 0.10 Value 4.412 244.490 36.358 46.180
Ulter Chem 40 Norm Counts 0.10 < x < 0.13 Value 0.000 41.998 5.995 7.236
Ulter Chem 40 Norm Counts x > 0.13 Value 0.000 42.633 4.637 6.567
History Size: 1 hour (Statistics Generated For Plot Duration)
Plot filter: None
Alt Plot filter: None
Filter join: Off
Flyer filter: None

過濾器的成本高，因此過濾器的定 否正確安裝或已經破損（因過濾器 更換前的品質監視，讓以往的週期
量更換管理機制也就很少做改變。 製作過程當中存在一定程度的品質 性更換管理機制有機會提升為條件
定量更換管理機制的缺點除了造成 不穩定性），新式微粒分析儀大幅 更換 (By Condition) 管理機制。以
過濾器、沖洗化學品及人力的浪費 降低量測耗費的化學品費用，所以 下提出化學品過濾器節能運用方式
外，最重要的是無法得知過濾器是 可利用於過濾器安裝後的檢驗以及 之模擬，希望能拋磚引玉，讓美夢

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