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圖十五、建立基礎資料流程圖

Real Chemical 收集初始 定量量測 按現行管理機制
更新 Filter Flush 微粒數據 建立趨勢線 更新 Filter 建立基本資料

圖十六、計畫執行流程圖

同意 合格
資料統計 擬定計畫 爭取 開始執行 更新 Filter 品質 留下品質
分析 支持 監測 紀錄資料
不同意 不合格

成真。 庫。此外，相同供應商提供的相
同品級化學品應有跨廠區參考價
– 建立基礎資料階段
值，然而因各廠製程技術不同，
流程如 圖十五 。 品質要求也不盡相同，建議在參
實施建議：初期每使用 5 桶 ST- 考相近製程技術廠區經驗後，仍
250 量測 30min，建立供應品質 應在廠區內進行實測，以確保實
趨勢推移圖 (Trend Chart)，建議 施過程穩定成功。
協調製程同仁端同時收集產品瑕
疵數據，以作為日後比對用。
– 計畫執行階段

流程如 圖十六。 結論
由收集的資料運用統 計手法
繪 製 趨 勢 推 移 圖 及 計 算 標 準 差
(Standard Deviation) 影像分析科技運用在新式微粒分析
儀能有效提升微粒之鑑別能力。
a. 初期以 1 倍標準差作為展延參
考，實施 3 個月後確認品質無虞 傳統利用鐳射光散色效應的微粒分
的情況下逐漸展延。 析儀無法有效量測 ST-250，使用
影像分析技術則不受 ST-250 顏色
b. 廠務端負責觀察微粒分析儀偵測
限制而仍然可有效進行量測。
數值；製程同仁端協助觀察產品
瑕疵數據。 最後，雖然目前量測技術無法量測
到小於 40nm 以下微粒，但是同時
c. 初期品質量測頻率較高，隨著經
利用微粒分析儀與微粒分佈分析儀
驗累積掌握趨勢後可逐次降低頻
(Particle Size Distribution Analyzer)
率。 參考文獻
檢測，再搭配微粒數量與粒徑分布
– 經驗分享階段 曲線，是可以概略推估出小至 1nm [1] E.Terrell, J.Gromala, D.Beal,
"Understand-ing Liquid Particle
廠區將實施經驗整理成知識庫文 粒徑微粒數量，至於是否準確，則 Counters", Particle Measuring System,
件，在廠務技術委員會上提出分 留給有心人士繼續努力研究了。 Inc., Page14~15.
享，不同廠區可分別進行不同種 [2] 尚偉公司內部資料
類化學品量測，以建立經驗資料 [3] tsmc RM MSDS 網站

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL OCTOBER 2012 79