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文│邱民昇│新廠設計部│
Performance-based Design of
Smoke Removal
in Cleanroom
無塵室性能式煙控設計
無塵室內性能式煙控設計，係整合環境特性、氣流控制系統與排煙系統而成的煙控系統；以高程差環
境建構出蓄煙井，調節氣流建構壓差環境，再配合終端之排煙設備將煙塵排至室外，達到煙控目的。
性能式煙控經過驗證後，即可突破消防規章之限制，移除無效的防煙垂壁，使系統發揮最佳化功效。
前言 平方公尺須以高度 50 公分以上之防煙壁進行區
域劃分；為使防煙壁與 AMHS 軌道路線之影響
降低，防煙壁儘可能避開軌道區設置，無法避
排煙系統設置目的，係為移除燃燒反應過程產
免時，則須在 AMHS 軌道貫穿防煙壁之地點裝
生的煙粒子，使人員在逃生過程中得不受煙塵
置自動連鎖關閉之設施，然而這種設計從未被
干擾，安全避難。因此為了有效移除煙塵，傳
採用，致產生適法性問題。因此，從人員安全
統設計多以防煙壁防堵煙塵擴散範圍，再透過
面衡量，AMHS 設計面思考，法令適法面等三
排煙設備將煙塵排出。但受制於製程連續性需
者須同時兼顧下，採用較實務的性能式煙控設
求，AMHS 軌道密佈，無法採行傳統防煙壁模 計，成為必要。
式設計；再者，無塵室內的下循環氣流，驅動
煙塵往下沉降，使防煙壁無法有效蓄集煙氣。
無塵室性能煙控設計概念
因此無塵室內的排煙系統，倘依循國內規章建
制時 圖一、圖二 ，實難發揮效用。
性能煙控設計的概念，係以物質燃燒之煙氣產
生 速率 為基 礎，利 用環 境差 壓與 空 間特 性，
排煙設計的法令限制 引導煙流移動方向，進而移除。如：以無塵室
製程區域為例，設計時即可考量煙氣熱浮升特
依現行消防規章，無塵室作業環境內，每 500 性，將區域內天花板挑高區建制為蓄煙井，搭
邱民昇 Min-Sheng Chiu
先前在工程公司服務
於三年前加入臥虎藏龍的新工處
看待事情的角度轉趨變化
期待再精益求精，持續成長
NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL JUNE 2013 31
