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技術專文

圖九、理想煙束流示意圖 圖十、T-square 火災成長曲線

6000
Ultra fast Fast Medium
5000

Heat released rate 2000
Z 4000
D 3000

1000 Slow
Z 1
0
0 100 200 300 400 500 600 700
表一、煙毒危害恕限值 Time from Ignition (sec)

危害類型 承受基準 T-squared Fires a(kw/s ) 2 a(Btu/s ) 2 Tg(S)
熱對流溫度 < 60°C
Slow 0.002931 0.002778 600
CO濃度 ≤ 1400 ppm
≤ 5% Medium 0.01127 0.01111 300
CO 2
HCN ≤ 80 ppm
Fast 0.04689 0.04444 150
能見度 > 10 m
輻射熱 < 2.5 kw/m 2 Ultra fast 0.1878 0.1778 75
煙層高度 ≥ 1.8 m

圖十一、能見度分佈圖

35 逃生路徑1 35
逃生門1
逃生路徑2
30 逃生路徑3 30 逃生門2
逃生路徑4
25 逃生路徑5 25 逃生門3
一氧化碳(ppm) 20 逃生路徑7 能見度(m) 20 逃生門4
逃生路徑6
逃生路徑8
逃生門5
15
15
逃生路徑9
逃生路徑11
10 逃生路徑10 10 標準值 逃生門6
標準值 逃生路徑12
5 逃生路徑13 5
逃生路徑14
逃生路徑15
0 逃生路徑16 0
0 100 200 300 400 500 600 700 0 100 200 300 400 500 600 700
逃生路徑17
時間(s) 逃生路徑18 時間(s)
難人員安全性的評估，許多影響人 火載量、裝修材料燃燒性等因素
員健康危害的關鍵性因子已被量化 後，產生連續性失誤率微乎其微。
火源設計及
成為危害指標，如：溫度、能見度、 因此邀集專家學者討論，擇定濕式
火災模擬條件 蝕刻槽（wet bench）為起火源，
CO 2 濃 度、CO 濃 度、HCN 濃 度、
熱釋放率為 5MW，火災成長條件
輻射熱等。以 SFPE 防火設計手冊
審視半導體製程之原物料於燃燒 則 依 循 NFPA 92B 之 T-square，
訂出的煙毒危害標準，在人員呼吸
後，以有機溶劑物質所會產生的 如 圖十成長曲線之最嚴苛火災成長
系統及視覺感官接觸位置 (1.8 公 煙量為最，其單位熱釋放率約為 模式 (ultra-fast) 作為設計條件。
尺 ) 處所容許的危害量必須低於恕 1400kW/m ；另評估製程設備洩漏
2
限值 表一。 率、安全連鎖設計、緊急應變能力、

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