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表六、機台氣體純化箱爆炸模擬洩漏及排氣假設 表七、中央洗滌塔爆炸模擬洩漏及排氣假設

洩漏模式 洩爆壓力 最大爆炸壓力 安全間距 洩漏模式 洩爆壓力 最大爆炸壓力 安全間距
(barg) (barg) (m) (barg) (barg) (m)
ER0.2 0.7 0.7006 3 Leak+排氣 0.2 1.1246 入口端前方
3公尺
ER0.2 0.3 0.3005 2.5
Leak 0.3 0.3580 2.5
圖五、中央洗滌塔爆炸物理模型及 ER=1 爆炸模擬結果

圖四、機台氣體純化箱爆炸物理模型及 leak 爆炸模擬結果 Y (m)
4.0 Above
3.5 0.070
3.0 0.070
Above 2.5 0.065
0.070 2.0 0.060
0.070 1.5 0.055
0.065 1.0 0.050
0.060 0.5 0.045
0.055 0.0 3m 0.040
0.050 0.035
0.045 -0.5
0.040 -1.0 0.030
0.035 -1.5 0.025
0.030 -2.0 0.020
0.025 -2.5 0.015
0.020 -3.0 0.010
0.015 0.005
0.010 -3.5
2.5m 0.005 -4.0
-3 -2 -1 0 1 2 3 4 5 6 X (m)
-3.5 -3.0 -2.5 -2.0 -1.5 -1.0 -0.5 0.0 0.5 X (m) Job=000001. Var=P (barg). Time=0.278 (s).
XY plane, Z=1.25m
Job=000000. Var=P (barg). Time=2.053 (s).
XY plane, X=0.02m

表八、排氣支管排氣管爆炸模擬洩漏 圖六、排氣支管排氣管爆炸物理模型及 leak 爆炸模擬結果
及排氣假設

Y (m) 地面高1.8m切面 Above
洩漏模式 Leak+排氣 0.070
3.0 0.070
2.5 0.065
2.0 0.060
洩爆壓力 沒有洩爆 1.5 0.055
(barg) 功能 1.0 0.050
0.5 0.045
0.040
0.0 0.035
-0.5 0.030
最大爆炸壓力 1.193 -1.0 0.025
(barg) -1.5 0.020
0.015
-2.0 0.010
-2.5 0.005
-3.0
安全間距(m) 沿風管上下 -5 -4 -3 -2 -1 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 X (m)
游前進 Job=400000. Var=P (barg). Time=0.528 (s). XY plane, Z=3.95m

全間距，但因潔淨室空間有限，因 鎖遮斷供氣源是非常重要安全連 其改善措施研擬，林聖祐，易逸波，工
安科技簡訊，2006 年 10 月。
此建議採取洩爆板可降低安全間距 鎖，建議依據 SEMI S2 6.6 要求，
[3] 三維風險分析技術應用在高科技廠房之
要求（雖然使用防爆電氣設備也可 使用失效也安全迴路 (fail safe) 或 危險性氣體洩漏暨預防損失之研究，羅
以有效降低爆炸風險，但不在本文 具 有 容 錯 特 性 (fault tolerance) 的 來佑，易逸波，2008 年 6 月。
討論範圍）。 設計或構造。 [4] 特殊大流量氣體安全參考規範和緊急應
變程序，財團法人安全衛生技術中心，
電腦模擬中因氫氣洩漏衍生爆炸， 2009 年。
可因管線材質、閥件材質、焊接品 [5] FLACS user’s Guide V 8.0
質的要求、氣體感知器有效性及連
鎖遮斷供氣源、維修或檢查完整性 參考文獻
的有效管理，而大幅降低洩露可能
[1] FM 1-44, Damage-Limiting
性。在電腦模擬中假設氣體感知器 Construction, 2012
失效，因此氣體感知器有效性及連 [2] 電子廠製程區氫氣洩漏火災爆炸模擬及

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL JUNE 2013 53