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圖五、即時監測系統所顯示的磁場等高線變化圖

於無塵室 於辦公室

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圖六、可攜帶式 ( 具有八個三軸磁場感測器 ) 的低頻磁場即時監測系統

此懸吊監測系統已可長期安全運 程尺寸跟著縮小，機台對無塵室內 Dependable Embedded Systems,
Spring 1999.
作，完全不會影響無塵室內工程師 的磁場環境要求只會更嚴，面對將
[2] "EMI Issues in Semiconductor
的作業，有了這套即時電磁波監測 來半導體廠內的 EMI 管控是更加的
Manufacturing Environment", Vladimir
系 統， 一 旦 CDSEM 機 台 產 生 CD 挑戰，唯有儘快建立全面有效的電 Kraz, Credence Technologies,
值錯誤訊號，便可加快錯誤排除的 磁波即時監測系統，找出問題、對 Presented at Taiwan ESD Symposium
2006.
處理時間，看看是否是因 EMI 造 症下藥才能提早防範，使得所有機 [3] "Separation of image-distortion sources
成的誤判，是的話則透過電磁波監 台都能不受電磁干擾下，達成高良 and magnetic- field measurement in
率的生產效能。
測系統找出污染源或是加強屏蔽隔 scanning electron microscope (SEM)",
Mariusz Pluska, et al, Micron 40 (2009)
離，若不是的話則查詢是否是接地
46–50.
或是微震所造成的。隨著 450mm [4] "EMI (Electromagnetic interference): New
晶圓廠建立的腳步加快，未來製程 Challenge on the Production Floor",
Olaf Zimmerhackl, Globalfoundries,
機台一定更大更自動化，相對地所 參考文獻 Future Fab internal issue 31, 2009.
需電力也會跟著增加，無塵室內的
[1] "Environment/EMC/EMI", Eushiuan Tran, [5]“雜訊防制對策入門”，第 4 章 4-25 頁，
磁場環境也會隨之惡化，可是當製 Carnegie Mellon University, 18-849b 廖財昌編譯，全華科技圖書印行

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL JUNE 2013 11