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文│趙樹華│工程品質暨安全管理部│

隔振基座設計及安裝

廠務系統如排氣（Exhaust）、製程冷卻水（PCW）、廢水（WWT）及超純水（UPW）
中的轉動設備 ( 主動振源 ) 及其相對應之管線 ( 被動振源 ) 為廠房中的主要振動來源，因
此有效控制廠務設備因機器振動傳遞到地面的振動力，進而降低廠房的振動量，是廠房
生產中重要的一環。因不恰當的設計及錯誤的安裝導致隔振效果不如預期的案例屢見不
鮮，本文將針對主動振源的隔振基座，從最基本的原理及公式推導、隔振彈簧的選用、
現場安裝方法，同時舉一設計實例說明，最後列出常見的現場安裝缺失等作一完整的介
紹，以讓大家對隔振基座的設計及安裝有一整體性的了解。

前言 防振基座是可隔開振動或避開振動的機構元
件，安裝隔振基座的目的為避免機器運轉時
的振動傳遞到地面，造成不良的地表振動。
半導體工業持續地朝向積體電路線寬及線距
由 圖二可知，振動源傳遞路徑為機台設備產
細微化發展、積極推動奈米與微系統技術及
生之振動經由基座及隔振彈簧後傳遞至樓
提升生產製程技術之需求。設備機台也因製
版，藉由隔振彈簧減少由機器振動傳遞到地
程與量測精密度的需求，對設備振動規範愈
面的振動力，降低地板之振動。本文將針對
趨嚴格與重視。高精密度儀器與設備對於周 設備隔振基座之設計與安裝做進一步的探
遭環境要求相當敏感，環境因素對於製程及
討。
產品品質影響甚鉅，所以在提高產品良率及
準確度要求下，製程周遭環境微振動是重要
課題。如 圖一所示，如果廠房樓板有外來的 文獻回顧
振動，如設備馬達運轉所引起的振動，經由
建築物的傳遞而影響製程機台，將影響製程 質塊彈簧系統如 圖三所示，質塊質量為 m，
的精度。廠務系統如 Exhaust, PCW, WWT 彈簧常樹為 k，質塊的振動頻率是固定不變
及 UPW 中的轉動設備為廠房中的主要振動 的，當連接質塊的彈簧被壓縮或拉伸的距離
來源，因此有效控制廠務設備因機器振動傳 愈長時，質塊的位移振幅也愈大，但振動
遞到地面的振動力，亦是廠房環境微振動中 頻率並不會改變。因此質塊的振動頻率是
重要的一環。 此質塊，彈簧系統的自然頻率。

趙樹華 Chris Chao
喜歡運動，熱愛田徑及自助旅行，要求
於工作與生活中不斷學習與成長。特別
感謝村哥(陳錦村)花費不少時間對本篇文
章的指導與指正，得以順利完成

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL SEPTEMBTER 2013 61