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表四、壓力計選用

選用因素 說明 範例說明/廠內應用

量程比 (Rangeability) 1.有效量測範圍、定義區間內10%~85%為工作區
2.量程比大：量測範圍小 ，解析度高

校正最小量程範圍 (min. Span) 1.線性校正零點(Zero)/工作點(Span)之最小跨距
誤差 (Reference Accuracy) 1.物理量與實際差值（常數項） ex : Zero~Span : 0~2000 psi
2.Zero/Span工作區間之百分比 誤差定義：0.04% of span，為0.8psi

解析度 (Total Performance) 1.物理量解析之最小單位 ex : Zero~Span : 0~2000 psi
2.Zero/Span工作區間之百分比 解析度為：0.113% of span，為2.26psi

耐久度誤差 (Installed Stability) 持續多少時間在壓力上限下所產生的誤差 0.125% / 5Y

最大量程範圍 (Max Working Pressure) 模組所能承受最大壓力範圍 ex : Roesmount 3051CD
Rng 0 : 750 psi (51,7 bar)
Rng 1 : 2000 psi (137,9 bar)
Rng 2-5 : 3626 psi (250 bar)
Rev 5 : 6092 psi (420 bar)
製程容許溫度 (Process Temperature) 儀表本體在環境容許溫度下，不會造成設讀值偏差 ex : Roesmount 3051CD : 149'C

表壓範圍 (Gage Pressure (GP) Pressure Range) 表頭顯示壓力上限 ex : Roesmount 3051CD : 0.3 -10,000 psi

壓差量程範圍 (Differential Pressure Range) 膜片所能容許最大壓力差 ex : Roesmount 3051CD : 2,000 psi

膜片材質 (Diaphragm Material) 配合製程介質的不同，搭配特殊之膜片 合金鋼(Hastelloy C)：高溫(>149C)
不鏽鋼(316 SST)：一般
蒙耐合金 (Monel )：有抗酸
鐵弗龍(Tantalum)：耐酸鹼
鍍金(Gold-plated)：細微壓(10~50mbar)

通訊介面 (Communication Protocols) 傳送器可接受標準工業通訊規範 tsmc : HART、FOUNDATION fieldbus (FF)
others : Wireless、PC-Programmable

量介質、管壓與精度，實際可依 表
圖八、壓力計量測原理
四選用項目，遴選出適當模組並搭
配製程系統所需之壓力表。
輸出導線 輸出導線 製程壓力
圖九說明氣體與液體壓力傳送器儀
膜片
表與導壓管安裝配置注意事項。
堅固外型
隔離膜片
油 液位計選用與安裝
壓電晶體
液位計主要係用於生產製程中液位
感應膜片
或界面之檢測，用以達到容量管
固定電容板
放大器＆ 理、容量品質監控之目的，目前業
控制信號
電子元件 界使用液位計種類繁多，大致在
電容式壓力感測 壓電壓力感測 選用評估上，區分為接觸式與非接
觸式兩種。一般接觸式係應用於回
收水、自來水或非腐蝕性之液體量
圍、物理單位、工作特性曲線、調 模組可透過規劃器而設定修改，故 測，非接觸式則適用於腐蝕性液體
整校正…等，均在電子壓力傳送器 在感應模組選用部分，一般只需考 與柴油等流體。 表五列整六類廠內

300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2016 65