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技術專文

表 4、化學品供應系統各部位之流速比較

Tool Transfer Pump Tank Filling Valve Supply Pump Supply Filter VMB 01 Valve VMB 02 Valve VMB 02 Valve VMB 02 Valve
type (0.2Mpa) (CDU 03I1/I2) (0.2Mpa) (0.2Mpa) Stick-4 (TOOL07) Stick-1 (TOOL08) Stick-3 (TOOL09) Stick-4 (TOOL10)

NO 1 2 3 4 5 6 7 8

Type T 960 1" C 3/4" T 960 1" E 3/4" AT3 C 3/4" C 3/4" C 3/4" C 3/4"
Item Material Velocity Flow Material Velocity Flow Material Velocity Flow Material Velocity Flow Material Velocity Flow Material Velocity Flow Material Velocity Flow Material Velocity Flow
(m/s) (lpm) (m/s) (lpm) (m/s) (lpm) (m/s) (lpm) (m/s) (lpm) (m/s) (lpm) (m/s) (lpm) (m/s) (lpm)
tsmc PTFE/ 2.97 24 PTFE/ 4.8 24 PTFE/ 1.61 13 PTFE/ 1.61 13 PTFE/ 0.45 2.27 PTFE/ 0.45 2.27 PTFE/ 0.41 2.04 PTFE/ 0.41 2.04
PFA PFA PFA PFA PFA PFA PFA PFA

10nm Filter×1
2
VMB 01 VMB 02 VMB 03 VMB 04
1 Supply
P tank
500 L
P Tool 01 Tool 02 Spare Tool 07 Tool 08 Tool 09 Tool 09 Tool 10 Spare Spare Tool 10 Tool 10 Spare
3
5 6 7 8
10nm Filter×2
Dual Drum
200 L 10nm Filter×2

表 3、不同閥件尺寸於相同流量下流速改變比例說明 圖 5、閥件尺寸流速示意圖

閥件尺寸 截面積A 面積比 流速比V =
2
說明 (mm ) Q（流量）/ A（面積）

3/4" 175 1 1
1" 410 2.34 0.427（下降42.7%）
V (1” 流速)
= V (3/4” 流速) / 2.34
PFA

之閥件與管材下，安裝於同一尺寸 VMB (Valve Main AOV剖面圖 截面示意圖
Box) 內之閥件，自 3/4" 改以選用 1" 之口徑，可發現
在相同的流量下，使用 1" 口徑之閥件，流速可下降達
42.7%，如 表3 及 圖 5。

統計整個化學品供應系統中，各部位流速依數據顯示，
可發現泵浦出口後至桶槽 (Tank) 之氣動閥本體內部，
因其截面積變小及泵浦二次測背壓趨近於零（進入
Tank，1 atm），流速為整個系統中最高處，流體在進
入閥件後，流速瞬間增大而較易使靜電快速累積如 表 4 Sticks VMB 3 Sticks VMB
4 ，亦符合 表2 之實驗結果。
並藉由計算流體動力學 (CFD) 模擬不同尺寸閥件於化
學品通過閥體，及計算流速驗證理論無誤 表5。再依
向大地散逸，以避免發生靜電危害事故。各部改善靜
實驗結果著手改善閥件、管路、泵浦、過濾介質等靜
電後數據下降 80% ~ 98% 不等 表6。
電數值。
為有效消除化學品於管路輸送時所產生靜電值，在鐵
氟龍管上增加導靜電外套管，泵浦及過濾介質外表披 供應模式最佳化
覆銅網（或銅貼）等金屬媒介，再經具導電性的物件 由本劑化學品特性，評估降低泵浦輸送壓力－降低流
接地（如電線），保持低接地電阻，將蓄積電荷迅速 速，減少系統因化學品受管路摩擦所引起的靜電，分

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