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Revelation of
FN-DP001
Negative
Developer for Facility
Supply System
醋酸丁酯負顯影劑
廠務供酸系統大解密
因 FN-DP001（主成分醋酸丁酯）本身電阻率高，於輸送過程中經過閥件、管路、泵浦、過濾介質等，發
生磨擦後極易產生靜電，近期陸續發生化學品供應系統因 FN-DP001 輸送時，因靜電累積且無導除媒介，
而導致擊穿閥件及管路事件，迫使廠務供應中斷（雜質釋出）並有安全上疑慮。故廠務著手實驗出 FN-
DP001 因流速變化所累積的靜電值，並增加系統之靜電導除效率，逕而將靜電放電改善至小於 0.1 kV，並
依此經驗，提供未來新供應系統設計規劃時，最佳的系統設計及化學品儲存操作模式。
關鍵詞/ 醋酸丁酯、石墨烯外壁塗佈管、靜電放電
Keywords/ FN-DP001、NE-Tube、ESD
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文│蘇崇誠 程境豐 │ 竹科廠務四部 中科廠務四部│
前言 但在輸送有機溶劑時，因輸送流體本身成分皆為
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高電阻率（>10 Ω）之碳氫化合物液體，具有較
大的帶電能力，如醚（Ether）、酯（Esters）、芳
在半導體的製造過程中，需使用各種不同特性的 烴（Aromatic hydrocarbons）、鹵烷（haloalkane）
化學品，其中不乏有高腐蝕性、揮發性、溶解性 之化合物，輸送於 PFA 管件內時，因流體與管壁
的物質，故在流體輸送過程中會選用相對應材質 摩擦，造成靜電的積聚，若靜電累積至危險程度（
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之管件。目前廠內化學品供應大宗使用鐵氟龍 >2kV/30cm） ，即會產生大量靜電放電（Electro
（PFA）材質，抗化性強、不會釋出雜質為其優點， Static Discharge，以下簡稱 ESD）。若 ESD 產生
可應付各種流體，不會因時間而產生質變、老化 時所產生的能量，大於該流體與空氣混和物的最
等問題。 小引火能量（minimum ignition energy，以下簡稱
加入廠務化學系統三年，於十二 B 廠接觸到 於廠務處化學課負責供應系統運轉及改
崇 誠 境 豐
許多新系統建置，遇到問題反而是機會，改 善，經歷這場靜電 (ESD) 風波後更加確定
善過程才是成長的踏腳石，感謝一路上指導 程 Tony Cheng 製程精進，期望藉由此次經驗對於未來面
蘇 C.C. Su
我的人，未來繼續與大家共同向前邁進。 臨到的問題皆能迎刃而解。
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 15
