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表 5、各種類閥件不同尺寸之流速表現

Valve type C (412) C (512) E G (687) G (687) F (BNWA)
Piping OD 3/4” 1” 3/4” 1” 3/4” 1”

Flow path
design

Piping ID Φ16 Φ22.1 Φ16 Φ23 Φ15.75 Φ23
Max speed 3.0m/s 2.2m/s 2.0m/s 2.0m/s 2.9m/s 1.4m/s
Open stroke 6mm 5mm 6.35mm 10.12mm 10.12mm 10mm

2.0m/s

0m/s

析同一路徑進行兩種改善模式測 品的危害通報工安部門及建廠設計
表 6(a)、改善靜電前後各部位數據一
試－分流與降壓 表7 。 單位，針對未來儲存使用及新廠供
Area Inlet Outlet Inlet Outlet – 分流：相同工作壓力，分流路徑 應系統設計規劃納入優先考量，並
太小無法降低閥件內部化學品流 進一步與廠內生產單位討論供應減
過的流速，靜電沒有改善。 壓方式，以避免危害發生，如以下
Pump A 450 2100 230 210
說明。
– 降壓：泵浦工作壓力減少 50%，
Pump B 4300 4500 30 30 2 2
由 2kg/cm 調 降 到 1kg/cm ，
Day tank 460 800 12 166 0.5V~10V 靜電數值完全消失。
新物料評估
由數據顯示出降壓可對於消除靜電
Recycle- 110 300 5 6
filter 有明顯功效。將系統內部的運轉泵 有機溶劑化學品使用評估除須考量
浦與 供應至機台的泵浦獨立開來， 腐蝕性及閃火點外需再加入電阻
filter#1 2540 3200 7 68
可改善系統內部靜電效應，及避免 值，並對化學品性質進行了解，可
filter#2 3800 4700 90 5 閥件內部隔膜受靜電擊穿風險。 透過安全資料表 (SDS) 評估適用管
材及閥件，例如酸性物質需選用 C
牌 P type 閥件，鹼性及有機類物質
圖 6、新評估之化學品─乙酸異戊酯 適用 C 牌 M type 閥件，含 TMAH
結論與建議 物 質（ 如 ATMI-PC） 不 可 使 用
PVDF 材質接頭，易產生靜電物質
FN-DP301
需加裝抗靜電套管包覆管材……
O CH 3 FN-DP001 化學供應系統各節點產
等。
生靜電值，經由上述方法改善及量
H 3C O CH 3
測後有明顯成效，並立即進行全面 目前於研發階段正評估一種新有機
性改善，且將 FN-DP001 此劑化學 溶劑─乙酸異戊酯 圖6，其電阻值

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 19