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表 8、新系統區段管路材質一覽表

System Unit Site Current New account 位置

CDU Day tank P6 SUS/P TFE liner SUS/P TFE 相同
1 liner
P7 SUS/P TFE liner
Piping P6 PFA NE-PFA 相同
2
P7 NE-PFA Fab tool
Valve P6 PFA Valve (CDK) SUS316L-EP 裝置導靜
3 Valve (Fujikin) 電設施 4 2 2
P7 PFA Valve (Entegris) 1
Filter P6 PFA SUS316L-EP 裝置導靜 D Day
Housing 3 電設施 3 Tank
P7 PFA
VMB CDU
SP2 P6 PFA SUS316L-EP 降低靜電 (Valve main box) (Chemical dispense unit)
Hook up 4 對Tool影
P7 NE-PFA 響 5
CCB Lorry tank － － SUS316L-EP 裝置導靜 A B
Piping 5 － － SUS316L-EP 電設施
Lorry Tank
filling connect － － SUS316L-EP
5 7
CTU Piping 6 － － NE-PFA 相同 Lorry 6
CCB CTU
Valve 7 － － SUS316L-EP 裝置導靜 (Clean Coupling Booth) (Chemical transfer unit)
電設施

並對新槽車供應儲存系統定義區
圖 7、供壓調降生產機台要酸需求秒數
段管路材質，以降低靜電危害 表
8
醋酸丁酯供應系統(CDU)供應壓力 機台平均要酸時間
4 36
9/7 9/9 供應減壓
3.5 3 2.3 kg/cm 2 2.3-2.1 kg/cm 2 2.3-2.0 kg/cm 2 34 除了進行桶槽填補路徑對應泵浦供
供應壓力(kg/cm 2 ) 2.5 2 32 要酸秒數(sec) 壓降低至 1kg/cm ，對生產供應壓
2
30
力也一併進行調整，且為不影響生
1.5
28
1
26 產機台要酸需求逐步分三階段調
2
0.5 整，壓力由 2.4kg/cm 調降到 2kg/
0 24 cm ，並統計壓力調降後生產機台
2
9/4 0:00 9/5 0:00 9/6 0:00 9/7 0:00 9/8 0:00 9/9 0:00 9/10 0:00 9/11 0:00
要酸需求秒數增加約 7.5% （未調
時 間
整前需求秒數平均約 29.3 秒，調
整後需求秒數平均約 31.5 秒，共
增加約 2.2 秒），依然符合生產機
設計規劃 m/s（用於高絕緣材料） 台設定值 圖7 。
對於未來新廠設計規劃化學供應系 – 槽車輸送處盡量處於低點，依據
統時，參考化學品供應商其生產系 NFPA 77 [5] 建議之液下輸送模式 參考文獻
統為設計規劃重點（用何種管材與 – 依據 CNS3376 桶槽鐵氟龍厚度 [1] PILLAR 導靜電套管技術手冊。
閥件，或使用該材質時有無遇到特 低於 2mm [2] 行政院勞動部勞工安全研究所，98 年吳
別的狀況），及設計規劃時，觀摩 鴻鈞、朱陳春亮、唐棨，有機溶劑管線
輸送時靜電爆炸風險。
– 確認崩潰電壓低於 2kV
化學供應商生產系統。 [3] American National Standards Institute
– 槽車輸送時進行槽體及管路夾具 (ANSI)/ESD S20.20-2014.
與新廠設計單位共同討論，並與友 接地，以降低放電時對產品的影 [4] Dilip R. Ballal, Arthur H. Lefebvre.
廠比較 FN-DP001 槽車輸送及供應 響（高壓放電導致產品離子化或 “The influence of flow parameters
on minimum ignition energy and
系統材質設計槽車供應儲存系統， 裂解） quenching distance”. Symposium
(International) on Combustion, vol. 15,
得到以下建議： issue 1, 1473-1481, 1975.
– 化學品主管路使用 1" 以上管材
[5] NFPA 77: Recommended Practice on
– 降低槽車輸送流速，建議低於 1 及閥件，減少尺寸轉接之設計， Static Electricity, section 8.13.1.5.

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 21