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– 過濾介質評估：此單元流場猶如
圖 3、化學供應系統管路材質增加導靜電外套管
閥件本體內部受截面積變小，可
模擬為分流成數萬直徑為 10 nm
的直管，流速瞬間增大而易產生
靜電，故測量此單元比較泵浦出
口靜電值差異
並同時測試各部位改善前靜電數
值，如 表2 ，以利輔助推斷靜電產
(a) 導靜電外套管安裝方式 (b) 供應系統內套管安裝 生位置之合理性，導除靜電方法
研究及測試，其中因原物料濾芯
(Drum filter) 為全速流動，供應端
圖 4、建構新化學供應系統管路材質 濾 芯 (Final filter) 為 持 壓 供 應 至 機
台，故流速非常低，故無測得靜電
外表面導電性部 質，亦符合推論。
材質：導電性PFA
綜合以上分析之共通點，研擬及實
驗出兩項靜電導除方案。

其一針對原本已供應系統加強靜電
導除能力。包括於輸送管材表面包
接液部 覆富含石墨烯成分之外套管，及針
材質：PFA-HG
對改變流速之閥件進行規格與流速
(a) NE-tube外觀圖貼圖示 (b) 泵浦外觀黏貼導電銅貼 測試，並對過濾介質外部，以銅網
進行包覆，原物料桶上線前全程以
金屬製器械搬運，且於存放區墊鐵
表 2、化學供酸系統各部原件 ESD 測試紀錄 板，並將靜電導引至最近的接地
點，減少靜電累積，且為了排除人
item Measure ESD spike (Count) 因之帶電，操作人員皆配戴靜電消
Position
Total > 0.5 V > 1 V > 4 V > 10 V 除腕帶，減少感電的可能。
其二為設計安裝新系統。材料選用
1 Drum filter > 300 113 66 25 8 電子級拋光不鏽鋼 (SS316EP) 之閥
件及彎管，管路選用石墨烯外壁塗
2 Pump 1 1 1 1 0 0
佈管 (NE-tube)，並於每一結點皆
Pump 2 1 1 1 1 0
以接地方式將流體產生之靜電大幅
3 Final filter 1 0 0 0 0 0 導除，且消彌最大流速改變來源產

Final filter 2 0 0 0 0 0 生之靜電─泵浦，達最佳靜電導除
效率。並與機台製造商及工研院合
4 Valve (01C1) 2 0 0 0 0
作研發出導電銅貼，貼附於供應泵
Valve (01C2) 2 0 0 0 0
浦外圍（泵浦為全氟化材質），經
5 Tank filling AOV (03I1) 59 31 12 1 0 過表面靜電儀量測後，靜電產生量
皆 可 由 >10kV， 改 善 至 <0.1kV，
Tank filling AOV (03I2) 44 21 17 1 0
有效且大幅的確保流體供應品值及
穩定度。

1
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結果與分析
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3 流速改善
依研究計畫針對化學供應系統各部
閥件所銜接管徑、流量等計算出流
速。我們可以看到使用不同尺寸

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 17