Page 20 - Vol.23

Tech
Notes
技術專文

表 6(b)、改善靜電前後各部位數據二

Area 管路包覆前 管路包覆後 本體包覆前 本體包覆後 Area 本體包覆前 本體包覆後
FNDP001 Outlet FNDP001 Outlet FNDP001 51-V-1002

Pump A 1950 800 5863 10 main 2677 50
Pump B 6710 1840 4857 13 S-1 2467 33
Day tank 150 1360 - - S-2 1299 26
Recycle-filter 5320 320 10000 113 S-3 1585 28

filter#1 3490 210 6788 30 S-4 1676 36
filter#2 4850 360 5421 24

Housing Pump VMB

As was As is As is

表 7、不同供應模式靜電表現數值

Method Condition Measure ESD Count
Position
Total >0.5V >1V >4V >10V 1

原始 Pump pressure 2 Kg/cm 2 Drum filter >100 50 34 11 2
設計 Turn on 1 loop,
1 to Day Tank. O3I1 Valve 31 12 1 0 0 2

分流 Pump pressure 2 Kg/cm 2 Drum filter >100 48 9 2 0
2 Turn on 2 loop,
to Day Tank and Drum O3I1 Valve 52 11 1 0 0

降壓 Pump pressure 1 Kg/cm 2 Drum filter 67 0 0 0 0 3
3 Turn on 1 loop,
to Day Tank O3I1 Valve 10 0 0 0 0

8
為 5.6×10 Ω·cm， 與 FN-DP001 儲存使用 存。
相近，故可依照此次定義之作法設 FN-DP001 原物料桶上線全程以金 人員於溶劑室作業一律配戴無線靜
計新供應系統。 屬製器械搬運，存放區則以墊鐵板 電消除腕帶。
接地，並以接地夾環廠銅排接地暫

20