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圖 5、原始設計之邏輯圖
Slurry Return AV-01(n) Drain Slurry Return AV-01(n) Drain
Slurry in Slurry in
AV-01 AV-01
Idle Sampling
1 2 1 2
AV-03 6 3 AV-03 6 3
5 4 5 4
DI DI
AV-04 AV-04
Slurry Return AV-01(n) Drain Slurry Return AV-01(n) Drain
Slurry in Slurry in
AV-01 AV-01
Transfer Flush
1 2 1 2
AV-03 6 3 AV-03 6 3
5 4 5 4
DI DI
AV-04 AV-04
圖 6、新設計之邏輯圖
Slurry Return Slurry Return Slurry Return
Slurry in Slurry in Slurry in
DI DI DI
Empty
Sampling & Transfer
Flush
cell
(PE)、鐵氟龍 (PTFE)，如 表1 。 接利用原本 Viton O-ring 的體積，
圖 7、拉出毛細管之定量管比較圖
再其外穿上一層硬度較高，摩擦係
此部分設計的理念，目的要盡可能
數較低之定模「高分子盔甲」 圖
地延長 PM 週期、降低人力成本，
10。
因為現實不存在不損壞之素材，而
若要製作全高分子的 O-ring，又會 而此新設計之外穿式 O-ring，由於
使得製作成本大幅上升，人力成本 無法利用原本的 Piston 進行安裝，
降低的效益便會大打折扣，因此運 並 且 原 廠 的 Piston 取 液 口， 其 設
用市面包覆式 O-ring 的概念，此處 計是面口向內的圓錐型，所以取液
材料不需要到精細包覆的程度，直 口實際是高於 O-ring 安裝處，若
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 41
