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Tech
             Notes
             技術專文

            常、六向閥取樣溝槽結晶造成定量
                                             圖 1、六向閥組                         圖 3、螺桿組
            異常、O-ring  因為應力擠壓變形，
            使得硫酸鈰推進異常……等等，造
            成機台端每日出現許多品質警報，
            往往需要耗費大量人力、時間進
            行部件檢修 (PM)，以及分析師進
            行手動滴定量測以進行問題真偽排
            除。若能想出一勞永逸的方法減少
                                                                                                  O型環
            不必要的機台警報，將這些工作負                      塑膠墊片
            擔減輕，便能增進廠務運轉效率及
            研磨液廠駐 (TSM) 人員工作效率。
            因此本文利用下述三項改善手法以
            解上述之宿疾：
                                                 轉動汽缸
            – 消失的六向閥

            – 新式 piston & 外穿式 O-ring
                                             圖 2、步徑馬達組                        圖 4、反應槽組
            – ATRs 減量滴定，軟體計算優化
            十四 B 廠廠務端一年硫酸鈰的使用
            量及花費高達兩百五十萬，而硫酸
            鈰滴定的使用量正比研磨液取樣量
            或者雙氧水含量，其中雙氧水含量
            不可變動，而他廠已有進行取樣減
            量的做法，但伴隨而來的副作用是
            滴定結果會變得相當不穩定（誤差
            ±0.005%），使得這塊餅看得到
            卻吃不到。以下便以上述之三項目
            標進行改良實驗設計。





            實驗設計與分析


                                                         定位感測器
            此章節將分成三個部份，針對六向
            閥和螺桿組進行新概念設計、硬體
            改造，以及 ATRs  軟體計算進行驗
            證和優化。


                                             合將定量管尾端拉出毛細管  圖7 ，              新式 Piston 及
            消失的六向閥                           使 slurry 在管內的附著力被強化，            外穿式 O-ring 設計

            以往針對問題的改善做法常常都是                  便可進一步避免因為閥件開關的瞬                 一 般 來 說，Viton 材 質 的 O-ring 會
            利用加法，比如說額外加閥件或者                  間壓力，可能使得定量管內部分                  依據其規格，摩擦係數介於 0.25~
            改管等作法，而 ATRs 宿疾問題大               的 slurry 被回拉，而影響定量準確
                                                                             0.60， 蕭 氏 硬 度 (D-type) 小 於
            多數都環繞六向閥，因此，反向思                  度。原本系統運作的軟體作業碼                  D30，由於硬度偏低、摩擦係數
            考，若能夠直接拿掉六向閥，以其                  (recipe) 也必須進行修改 圖 8、圖 9，       相對較高，其因為日常滴定（每
            他方式進行定量，並能夠達到一樣                  將取樣 (sampling) 步驟提前至第一          日約 20 次左右，用量越大次數越
            的穩定偵測結果，則能達到一勞永                  次洗空 (empty cell) 之後，並且最         多）進行螺桿推進、回拉動作而造
            逸之成效。                            後滴定結束後，再加入兩道送水程                 成 O-ring 擠壓變形；針對其他高分

            在設計概念上，將原本經過六向                   序 (transfer) 進行定量管清洗，徹          子作調查，比較其物理特性後，選
            閥的取樣路徑  圖5 ，直接藉由閥件               底將定量管以超純水 (DI) 洗淨，如             了兩項摩擦係數較低且不會使得成
            開關的滯吸力進行定量 圖6，並配                 此才能符合實際運作邏輯。                    本過高的材質進行實驗 – 聚乙烯



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