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表 5、殺菌系統建置、運轉成本比較

Item 非氧化性殺菌劑投藥 UV 殺菌模組 脈衝電漿殺菌模組

建置成本 (NTD) 不需 9,310,000 3,600,000

運轉成本(NTD/Year) 3,594,072 3,500,000 1,114,072
3
單位殺菌成本(NTD/m ) 2.05 1.99 0.64
3
單位殺菌成本（五年攤提設置費用+操作）(NTD/m ) - 3.06 1.05
ROI - 94.03 2.05

菌落數控制(cfu/cm) 10 1 10 1 10 1

有硬體設施、建置與運轉成本以及
圖 7、複合式脈衝電漿殺菌單元架構
殺菌效果評估結果，脈衝電漿殺菌
模組不僅單位殺菌成本低，且殺菌
效果也非常出色，如 表5。
CDA 暫態電漿團
產生器
活性氧原子(O‧)與臭氧分子(O 3 )

脈 衝
桶槽 文氏管
產生器 計畫方法
產生脈衝電場/磁場之殺菌效果
超音波震盪之紊流效應
對於脈衝電漿殺菌系統的導入計畫
分為四個階段，第一階段為專案審
暫態氧的持續時間比三重態氧 (O 3 ) 技術、超音波殺菌技術、電磁場滅 核，在 FRC 大會上提出想法，該項
計畫案已於 2016 年第一季通過決
要短，其滅菌過程屬生物化學氧化 菌及各種高活性高氧化性類電漿物
反應。經過脈衝式電磁波處理後之 有效的破壞和殺死細菌，並使其喪 議。第二階段為系統變更之安全評
估，透過 ISEP 之 SMOC 平台進行
水與電漿態之氣體混合後導入至高 失毒性，而超音波之彌散效應（擴
系統導入之安全評估，經各課專家
汙染之水體環境中，滅菌工作完成 散效應）可以強化和加速滲透，使
建議與 ISEP 討論後，擬定出最安全
後將會還原至無任何殘留物狀態， 得後續各種高氧化性高活性之自由
且變更風險最低之單元設計方式，
電漿態氣體導入水中只要在標準 基 (O 3 ) 等物質更易進入微生物體之
並於 2016 年第二季通過 SMOC 審
規範濃度下（水體內 O 3 含量 0.1- 細胞膜內，以提升後續滅菌能力。
核。第三階段為系統測試，於尾氣
2.0mg/L 水面上 <0.05mg/L）運作
由系統建置成本與運轉成本分析， 處理回收水系統建置 5CMH 之脈衝
沒有任何危害，是一種極安全之物
以 200CMH 之尾氣處理回收水系 電漿殺菌單元，配合實驗組與對照
理性滅菌方式。
統推估，主要花費為暫態氧電漿 組之 RO 進行測試與資料收集，並
脈 衝 產 生 器 (Pulse generator) 產 團產生器、高壓脈衝產生器以及臭 於廠內測試脈衝電漿殺菌系統對於
生脈衝電場 / 磁場與高頻超音波震 氧偵測器的建置，設置成本約為 各股回收水之處理效能是否均可達
盪，對菌體帶電荷的細胞膜產生破 三百六十萬元。脈衝電漿殺菌系統 到菌落數控制之目標，作為正式導
壞（電崩解及電穿孔）達到殺菌效 之運轉支出，主要為暫態氧電漿團 入之參考。第四階段為正式導入，
果。另外高頻超音波震盪所產生的 產生器、高壓脈衝產生器之耗材更 於回收水處理系統併入脈衝電漿殺
紊流效應，亦可降低生物膜之生成 換與保養，運轉電費則不及 UV 殺 菌設備，停止殺菌劑之添加，以物
機率。 菌單元之一半。將建置成本與運轉 理性殺菌徹底取代化學性投藥，減
費用合併計算，並將建置成本分為 低外排廢水對環境之影響達到生態
脈衝電漿殺菌系統採用了脈衝式超
五年作攤提，估算出殺菌單位運轉 保育水活化之終極目標。
音波，透過一套設備完成複雜的滅
3
成本為 1.05 元 /m 。
菌工程；整個滅菌系統結構分為水 2016 年第三季於十五廠第二期尾
路、氣路與電路三大方面；其滅菌 綜合現有之化學性投藥以及 UV 殺 氣處理回收水系統建置 5CMH 之脈
技術層面包括了高壓脈衝電場殺菌 菌模組與脈衝電漿殺菌模組，從既 衝電漿殺菌單元進行測試，並建置

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 65