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檢核自動監測設施傳輸數據，針 環境的因子進行監控，讓空氣品質
對異常數值予以標記。 監測涵蓋範圍更全面。

初期監測結果 結論

空品車於 2016 年 6 月底完成後， 本公司作為世界級的半導體廠，對
7 月份已在中科廠區周邊監測近一 於環保的努力一向不遺餘力，各項
個月，各項空氣指標物質監測結 環保法令的遵循以及對於環保的維
果，二氧化硫、二氧化氮、一氧化 護成績也是有目共睹。近年來國人
碳遠低於管制標準，臭氧及 PM10 對於空氣品質的重視及要求持續提
雖未超標但相對接近標準，PM2.5 高，本公司不免成為民眾關注的焦
則是偶而超標，但與鄰近的環保署 點。有鑒於此，對於環保維護的重
測站（西屯站）相比趨勢一致，應 點，除了持續確保廠內各項污染排
是受大氣環境的影響，非臨近空氣 放優於管制標準之外，也逐漸將資
品質不良，空品車與鄰近的環保署 源向周邊環境延伸，空氣品質監測
測站（西屯站）比較趨勢如 圖4 所 車即是此一目標的具體表現，藉由
示。 監測周界環境的各項空氣污染物變
化，即時掌握空氣品質狀況，必要
透過定期品保、品管的查驗與校
時再提升防制設備的效能，或是提
正，儀器的監測結果正確無誤，並
供監測數據供主管機關參考，以採
由不同測站的監測濃度變化趨勢相
取必要改善措施，共同維護周邊環
似，顯示空品車可發揮即時監測與
境品質。
比對的功效。
目前空氣品質監測車所配備的即時
監測設備皆屬一般空氣污染物質，
未來除了規劃分析實驗室，將可監
測的物質種類擴增外，監測車也預
未來計畫與展望 留空間，作為未來增設其他即時監
測設備之用。

後續將持續在北中南監測點進行空
品監測，累積廠區周邊長期的空氣
品質變化，並與地方主管機關工業 參考文獻
區空品監測數據比較，以供後續公 [1] 特殊性工業區緩衝地帶及空氣品質監測
設施設置標準 (103.3.5)。
司空品監測政策擬定之參考。 [2] 美國空氣污染物量測系統品保手冊第二
及第四冊。
空品車所配備儀器皆屬直讀式儀 [3] 執行空氣品質監測網品質保證作業計畫
器，最大優點為快速、即時，但相 (79)。
[4] 建立台灣地區空氣品質監測網之管理制
對缺點是精密度較差，對於環境中 度及作業系統第一冊 (79)。
微量存在的物質或是成份特性複 [5] 中部科學工業園區台中園區第二期發展
區擴建計畫（含第一期發展區變更）環
雜的物質，無法即時量測，需透過 境影響說明書 (100.6)。
實驗室的精密儀器作進一步的分析 [6] 變更台中市都市計畫（中部科學工業園
區台中基地）（部分園區事業專用區為
確認，為彌補空品車直讀儀器的不 綠地）細部計畫書 (100.4)。
足，300mm Fabs 廠務處已規劃空 [7] 擬定中部科學工業園區台中基地附近特
定區計畫（配合中部科學工業園區台中
氣品質分析實驗室，未來將利用氣 園區擴建 - 原大肚山彈藥分庫）細部計
相層析質譜儀 (GC-MS)、離子層析 畫書 (103.6)。
[8] 中部科學工業園區台中園區特殊性工業
儀 (IC)、感應耦合電漿質譜儀 (ICP- 區緩衝地帶及空氣品質監測設施設置計
MS) 等精密儀器，進一步解析空 畫 (104.8)。
[9] 環保署推動工業區空氣品質監測管理期
氣中的微量元素，包含揮發性有機 末報告 (103.10)。
物、酸鹼離子、重金屬等可能影響 [10] 環保署空氣品質監測年報 (101)。

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2016 39