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要酸訊號、換酸資訊 ),於每天人 行判斷,若該化學品屬於排放至廢 即為要酸時間逾時 (Request Time
工統計換酸數量,確認是否有異常 水系統的種類就更加難以掌握。 Out),此時系統主動強制關閉供應
大量換酸狀況,若有異常尚需與廢 閥件,如 圖2 所示。但此作法無
要酸訊號逾時 (Request Time Out)
液系統排放量進行比對。此資訊的 法偵測到高頻率短時間的異常要酸
的設定:要酸開始與結束時間皆會
查詢皆必須至廠務值班室電腦進 模式,且此警報會實際關斷供應閥
被廠務系統紀錄,機台要酸時間
行,需要人員進行資料彙整,且無 件,停止供應化學品至設備機台,
法反應設備要酸模式是否有改變趨 已有逾時的警報機制;當設備機 若為錯誤判斷時將有導致生產中斷
勢,只能透過廢液系統的變化量進 台提出要酸訊號時間超過警報設定 的風險。
擔任封裝廠氣體、化學品廠 於封裝廠務負責化學品、 擔任封裝廠廠務副理,
君 豪 務系統負責人,期待能加深 俊 凱 研磨液的供應系統,創新 政 道 雲在青天,水在瓶。
廠務系統與產線設備資訊交 廖 Chun-Kai Liao 是成長和前進的動力。 黃 Robert Huang 興趣:聽音樂,機車旅
流 , 更迅速反應產線狀況。 興趣:看棒球、看電影。 行。
戴 Chun-Hao Tai
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 31