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Tech
Notes
技術專文

Chemical

Consuming

Defense

System

化學品用量異常

即時偵測系統

半導體製造工廠所使用之化學品，大部分由廠務端中央供應系統自
動供應至產線端設備機台。當設備機台發生異常時，容易發生化學
品異常大量使用。為了使化學品異常使用防禦系統達到即時且全面
性的能力，廠務與自動化整合部門共同開發「化學品用量異常即時
偵測資訊科技工具」以達到快速、即時、有效地偵測到異常事件並
排除。迄今已實際成功偵測到數次設備機台異常，有效避免化學品
錯誤的浪費，節省生產成本與防止環境危害擴大的風險，提升廠區
生產運轉穩定性。

竹科十二廠六期中央化學品供應系統 攝影 / 洪湘寧
關鍵詞／廢液、異常用量、排放異常、化學品用量異常即時偵測系統
Keywords/ Waste Chemical, Abnormal Consumption, Abnormal
Drain, Chemical Consuming Defense System

文│戴君豪 廖俊凱 黃政道│竹科廠務五部│

前言

中央化學品供應系統 (Chemical Dispense System, CDS) 依據設備機台提出要酸訊號 (Request)，系統
經由啟動泵浦 (Pump) 並開啟供應路徑上的閥件 (Valve) 將儲存槽 (Day tank) 的化學品供應至機台設
備，如 圖1 所示，紅色路徑為化學品供應路徑。
廠務端既有化學品異常用量偵測防禦機制有以下兩種方式：Barcode System 、Request Time Out 功
能。Barcode System 可記錄原物料使用狀況，並統一彙整於廠務中央監控與數據收集系統 (Supervisory
Control and Data Acquisition System, SCADA System)，SCADA 收集廠務系統相關資訊 ( 機況警報、

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