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圖 4、要酸秒數自動比對邏輯判斷流程圖

No
將記錄檔上傳 自動Summary 各類化學品總要酸 判斷要酸時間
要酸自拋程式 Yes 提示為異常
產出完整記錄檔 至IT系統 相同種類化學品 往前推30天平均值 是否超出UCL 系統警報發生
(包含時間及次數) 總要酸時間 加3倍Sigma算出 Alert Limit
UCL Alert Limit

圖 5、要酸次數自動比對邏輯判斷流程圖

確認系統正常
No

Summary 各化學品要酸次數 各化學品要酸次數 長短期
將記錄檔上傳 相同種類化學品 往前推90天平均值 計算長短期平均 是否同時超出Base Yes 提示為異常
至IT系統 系統警報發生
總要酸次數間 加1.2倍安全係數算出 往前推30天(月平均) Alert Limit
Base Alert Limit 往前推7天(週平均)

IT 資料庫進行分析，使資訊公開透 值 結果與分析
明化。

標準差；該組數據各別與其 系統介面與管理
IT 資料自動比對
平均值之差的平方的平均數再開平
藉由化學品資料自動匯出至 CIM IT
資料自動上傳至 IT 資料庫後，需有 方根
系統，使用 NT 帳號密碼登錄化學
自動判斷與警報能力，可藉由資料
品用量防禦系統，如 圖6 所示。
庫中要酸秒數 (Request Time) 與要
系統分析整理化學品資訊後，將各
酸次數 (Request Count) 兩項資料
警報線；算數平均值加 機台化學品用量資訊以圖表格式呈
做程式計算判斷方式。
3倍 現，程式畫面主要分三介面 : 搜尋
介面 / 清單介面 /SPC 介面，以下
要酸秒數自動比對
將逐一說明操作。
要酸秒數程式計算邏輯：將一天內 判斷流程圖如 圖 4 所示。
機台的要酸秒數自動加總，則得知 搜尋介面
當天總要酸時間，連續取 30 筆資 要酸次數自動比對 進入介面後，共 3 種搜尋模式選擇：
料 ( 可依使用者需求改變；本次舉 詳細資料查詢 ( 預設模式 )、總量
要酸次數程式計算邏輯 : 程式自動
例為 30 天 =1 個月資料當計算 )， 查詢、警戒次數查詢，使用者可選
累加一天內機台的要酸次數，連續
利用統計手法 ( 自動計算 ) 得算數 擇開始與結束時間，並可依不同化
取 90 筆資料 ( 可依使用者需求改
平均值 ( ) 與標準差 ( )，並 學品種類與機台編號等相關資訊，
變；本次舉例為 90 天 =3 個月資料
取 3 倍標準差 ( ) 視為 當計算 )，將其總合後平均值乘安 明確找出特定機台於某時間內要酸
警戒 ( ) 設定值，當每小時資 狀況，如 圖7 所示。
全係數 1.2 ( 可依使用者需求改變；
料自動上傳至 IT 資料庫後，若超過
本次舉例為 1.2 當安全系數 ) 當警
該 設定值則判斷為異常要酸， 清單介面
戒 (Alert) 設定值，接下來繪製比較
計算是如下所述：
線，目的做為當比較線低於 Alert 清單介面主要顯示查詢後資料明細
數據個別值， ；即為 設定值，則判斷為異常，為了避免 結果，可逐一顯示每筆要酸紀錄或
第 個 數 據 值 ( 舉 例：30 天； 過度警報或警報誤判，因此比較線 其他資訊提供給使用者作參考，依
n=30) 計算採兩種時間：月比較線與周比 搜尋模式不同則顯示不同描述，當
較 線， 計 算 出30 天(月)與7 天 查詢為 [ 詳細資料查詢 ] 則顯示該
( 週 ) 的算數平均值，當兩者同時 時間內每次要酸訊號資訊。若為
算數平均值；一組數據將其加 高過 Alert 設定值時，則判斷為異 [ 總量查詢 ] 則顯示該時間內，特
總再除上數據的總量可得算數平均 常要酸，判斷流程圖如 圖 5 所示。 定機台或特定時間，該化學品總要

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