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表 2、化學品異常用量偵測防禦機制比較

廠務 防禦機制 手法 是否能偵測線上機台異常 自動 影響 反應 人力需求 Remark
系統 警報 線上 時間 (manhour)
單次大量 多次小量 功能 機台 (hr)
要酸 要酸

中央 機台要酸訊號 限定單筆要酸訊號時間 V V V <1 0 既有功能
供酸 監控 (Request Time Out)
系統
每日要酸桶數 人工統計 V V 24 1
統計
總時間偵測 統計總要酸秒數平均值 V V V 1 0 新增功能
取3倍Sigma

總次數偵測 統計總要酸次數平均值 V V V 1 0 新增功能
×安全係數

如以上所述，化學品用量異常即時
圖 12、實際案例二，設備電磁閥異常導致高頻率要酸
偵測系統可以實際發現異常狀況，
鑒於該系統具備自動化分析能力，
機台保養 異常狀況 降低人員操作工作量與讓 Module
人員可更加方便查詢操作，如 圖
13 ，以往需一天後經人工匯出資料
計算後才能發現的問題，改善為每
天每小時自動分析比對，不僅更完
善防禦偵測異常用量，同時也大幅
降低發現問題時間。

結論
圖 13、異常用量應變時間比較圖

改善前 改善後
Office PC e-OCAP CIM 化學品用量自動防禦系統與供應用
人工分析紀錄 IT自動分析
與預警 與預警 量報表已於 2016 年第一季上線使
用，經實例證實可有效反應產線端
化學品用量異常現象，符合達到能
TSMC Network
檔案人工匯出 檔案自動匯出 即時偵測化學品異常用量的自動化
(24hr) BF_WEB01 (1hr) 系統目標。比較修改前後化學品偵
FMCS Network 測異常系統功能，如 表 2 所示，可
改善以往無法藉由換酸桶數與要酸
人工執行 自動執行
報表系統 報表系統 秒 數 (Request Time) 偵 測 到 的 異
(24hr) Chemical Local Network (1hr) 常，並大幅降低應變時間與人力。

該系統迄今於封裝廠區 (BP2) 使
用，未來期望能廣泛應用於各廠
區，即使各廠區供應系統廠牌與訊
檢查異常機台，發現運轉中機台化 此現象會導致廠務系統閥件開關次 號控制方式不盡相同，但依此化學
學品 Fliter 排泡閥件未關閉，快速 數增加，進而影響閥件壽命。若以 品用量自動防禦系統判斷邏輯觀
有效找出問題並改善。 往 一 般 的 Request Time Out 功 能 念，也可達成相同之功效，讓所有
也無法抓到此異常，甚至到廠務機 運轉單位每日更清楚掌握廠區即時
實際案例二 台閥件也異常時才發現問題，透過 供應狀況，避免異常排放造成原物

Stripper 設備機台使用化學品 IPA， 此系統要酸次數自動比對功能快速 料成本增加，達到更為快速、有效
控制 IPA 要酸訊號電磁閥異常，造 發現異常，立即要求設備更換零件 地發現異常用量，進一步提升本公
成高頻率短暫要酸現象，如 圖 12 ， 改善，避免問題的擴大。 司對於化學品用量防護機制。

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 35