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Tech
Notes
技術專文
圖 1、化學品供應路徑圖 圖 2、要酸訊號逾時停止供應示意圖
Tool
要酸訊號
CDU 供應路徑 超過每次要酸時間設定
(要酸時間逾時)
FAB2F
VMB
藥液
Day tank 供給
Pump
FAC1F FAB1F
中央供酸系統 設備機台
表 1、化學品異常用量偵測防禦機制缺點分析
廠務 防禦機制 手法 是否能偵測線上機台異常 自動 影響 反應 人力需求 Remark
系統 警報 線上 時間 (manhour)
單次大量 多次小量 功能 機台 (hr)
要酸 要酸
中央 機台要酸 限定單筆要酸訊號時 V V V <1 0 不適用高頻率短
供酸 訊號監控 間(Request Time Out) 秒數異常狀況
系統
每日要酸 人工統計 V V 24 1 反應時間長,難以
桶數統計 追蹤異常機台
圖 3、自拋程式資料自動上傳邏輯判斷流程圖
Check 抓取00:00至當下 要酸是否 Summary要酸資料
要酸自拋 IT指定路徑 Yes 要酸資料 超過Time Out No 輸出為每個要酸點 匯出存檔
程式執行 至IT指定路徑
是否連線 Raw Data 設定 加總要酸時間
No Yes
警報發生 每筆要酸資料 要酸自拋程式
(Sponsor檢查後進行 超過Time Out的值 結束
手動或自動連線) 強制限制為 (自動關閉程式)
Time Out設定值
超出的部份忽略不計
因此我們思考，針對現行化學品異 計畫方法 SCADA 系統，我們利用 VBA 語言
常用量偵測機制 ( 如 表1) 是否有新 建立要酸訊號自拋程式 ( 採用 Excel
方法改善，既然 SCADA 系統已有 格式 )，此程式建立於 SCADA 電
設備機台要酸時間的資料庫，藉由 腦，可自動抓取資料庫內欄位數值
要達成化學品自動偵測警報功能，
此資料搭配程式自動判斷，套用統 (Raw data)，並將其資料儲存於中
必須克服資料可自動上傳，並讓系
計學標準差觀念，以找出機台合理 繼站電腦，接下來利用 Windows
統能具備自動比對功能，以下將說
要酸時間，並達到能即時偵測化學 內建排程工具，每小時 ( 可依需求
品異常用量的自動化系統。 明功能建立流程與分析邏輯。 者自行定義 ) 執行要酸訊號自拋程
式，即可達成將資料自動匯出至 IT
資料庫指定路徑，程式邏輯流程如
IT 資料自動上傳
圖3 所示所示，以便 CIM ( 自動化
線上設備機台要酸訊號會記錄 整合部門 ) 由指定路徑讀取資料進
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