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技術專文

表 1、原物料循環時間與次數比較

系統設計 Drum 循環 Drum 循環 KPI Drum 循環時間 Day tank 循環 補液 (tank+vessel)
(以15桶/天計算)
hrs 次/桶 hrs hrs hrs

既有設計：pump共用 12 9.6 0.8 12 2.5
(補液+drum循環+day tank循環)

新設計：獨立循環pump 24 19.2 1.6 24 1.25

tank 各有獨立循環 pump，以 15
圖 10、原物料儲存架構差異
桶 / 天計 (>15 桶設 lorry)，新設
計於 drum 使用前增加循環 9.6
次，新設計可符合每桶循環 1 hr 舊設計
需求 ( 既有設計須減少 day tank
循環才可達成 ) 表1 。

– 有效提升 HPM 利用率：與既有
CDU 體積減少 20%，提高閒置
空間以利未來擴充，以十五 B 廠
為例，變更前 HPM L20 可容納
CDU 總數為 104 套，藉由此一
設計可容納 CDU 總數可達 128
套。面對未來更加多樣化的化學 新設計
品種類，將有足夠裕度以符合供
應需求。

新設計增加 HPM 2F 空間
2
20% (337m 、 暫 存 區 5%、
CDU15%)，換算可增加擴充 11
sets CDU 空 間，HPM 1F 流 動
2
棚 增 加 147m (15%)， 因 增 加
drum unit & 維修空間，既有空 流動棚
專屬流道
間足夠擴充，並規劃人機動線區 自動傳輸帶
隔以符合安全要求 圖 10。

結論

著眼半導體製程不斷精進，對廠務
端來說，化學品原料的供應品質及
供應多樣性將是一大挑戰。藉由本
計畫所設計的 DHL System，未來
的廠務系統得以實現低運轉風險與
低人力運轉的目標，藉此自動化運
轉模式大幅降低運轉成本與人員工
作量。此外，該系統也讓原本 HPM

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