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圖 8、逆滲透反向流 60 分鐘單次沖刷成效

沖刷期間 沖刷期間
沖刷前 沖刷後
30 600
流量(M 3 /hr) 導電度(µs/cm)

20
500
沖刷前
沖刷後
10 400
03/24 10:00 03/24 11:00 03/24 12:00 03/24 10:00 03/24 11:00 03/24 12:00
產水流量改善 產水導電度改善

圖 9、HFDR RO 反向流沖刷產水流量維持成效比較

30 自動反沖洗

流量(M 3 /hr) 20 無反沖洗

10
0 10 20 30 40 50 60 70
採水天數(day)

環境下直至 RO 達更換標準，即入 結垢沉積效應。週期性沖洗在廠區 藉此提高 RO 的造水率與其對物質
2
口壓力 >17.5 kg/cm 且產水流量 實驗中，證實為一有效之策略，在 濃度的容忍範圍，實現更佳的水回
<25CMH 時之累計採水天數延長 適當之流量調整下無不良情形發生 收率。
至 66 天，拆換清洗後於下次採水 或系統傷害，搭配自動化定期程式
天數亦延長至 58 天，評估於定期 可同時減緩 RO 阻塞速度，並減少
反沖洗模式下之 RO 清洗更換週期 更換人力負擔。廠區實際測試結果
可有效延長 1.88 倍，相對於無反 顯示 RO 更換周期可顯著延長 1.88
沖洗設計之另一套 RO 比較起來， 倍，且在適當沖刷流量下，單次
參考文獻
成效顯著，如 圖 9 所示。此改善 60 分鐘沖刷歷程即可觀察出改善
結果可於不損耗及使用額外清洗水 成效。此法搭配 RO 膜專用殺菌劑 [1] Mukhopadhyay, Debasish. "Method and
apparatus for high efficiency reverse
資源與清洗藥劑情形下，大幅降低 控制 RO 入口端長菌情形，並調控 osmosis operation." U.S. Patent No.
5,925,255. 20 Jul. 1999.
HFDR RO 委外拆換清洗頻率與人 穩定之入口 pH，將更能實現最佳
[2] Malaeb, Lilian, and George M. Ayoub.
力成本及清洗費用支出，並減少藥 之操作效果，得以節省可觀成本。 "Reverse osmosis technology for water
treatment: state of the art review."
洗所造成之環境負擔。
本 RO 反向流沖洗設備，可確實控 Desalination 267.1 (2011): 1-8.
[3] Sheikholeslami, R., and J. Bright. "Silica
管半導體製程所產生之大量高濃度
and metals removal by pretreatment
氫氟酸與洗滌塔廢水濃縮水，穩定 to prevent fouling of reverse osmosis
結論 維持 RO 處理能力，其成果值得為 membranes." Desalination 143.3
(2002): 255-267.
現行廠區 RO 膜清週期改善之參考 [4] 經濟部工業局全球資訊網，薄膜特性與
污染阻塞控制。
反向流沖洗設備可有效防止並減緩 依據。未來將計劃測試於其他回收
[5] 陳見才，分離膜污染阻塞與控制簡介，
因來源水污染物濃度過高所造成之 系統中，因沖刷的改善效果，可以 產業綠色技術資訊網。

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 77