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技術專文
圖 4、逆滲透原
壓力＞滲透壓差
P
滲透壓差
半透膜
高張溶液 低張溶液 高張溶液 低張溶液 高張溶液 低張溶液
滲透現象 滲透壓平衡 逆滲透現象
圖 5、模廠系統調整前流程圖
再生水 再生水中間
前處理段 處理段
原水 活性碳 強陽 前處 逆滲透 中繼水槽 逆滲透 紫外燈 強陰 逆滲透
模 -1 樹脂 理槽 膜-1 膜-2 樹脂 膜-3
反洗 藥洗 非藥洗 藥洗 非藥洗 初級
產水
再生 逆滲透提 PH 生物薄膜 排放水
過濾器 曝氣槽 兼氧槽 曝氣槽 放流槽
廢水槽 濃廢水槽 調整槽 系統
排泥
初級 高級氧 中級 活性碳 混床 精煉 再生水
產水槽 化系統 儲水槽 -2 樹脂 儲水槽 最終產水
廢水再生系統 再生水精煉
濃水再生系統 處理段
滲透 (Osmosis) 是指，當半通透膜 液面差壓力達到平衡為止。本系統 再生水廠最佳化
兩側的滲透壓不同時，低滲透壓側 第一段 RO 即採用海淡膜 (TORAY,
的水分子就會穿透至高滲透壓側。
TM820-400) 去除高鹽度，再使用
就如同稀薄溶液與高濃度溶液（如 模廠系統現場設置概述
第 二 段 RO 膜 (DOW, BW30-365)
純水與海水）相接觸時，水自然會 南 科 放 流 水 的 TOC 約 3-5ppm，
達到純化之效。
通過半通透膜從稀薄溶液流向高濃 與晶圓廠的水質 TOC 約 100-120
度溶液，其移動會持續到滲透壓與 ppm 相比較為單純，上次已證實高
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