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Tech
Notes
技術專文
Effluent
Reclamation-
Optimization in
Operation of
Process
Pilot
工業再生水研發─
回收模廠運轉最佳化
再生水模廠 (AOP Pilot) 設備於 2015 年 11 月導入晶圓工廠排放廢水，成
功克服原水高濃度 TOC，然處理流程複雜及運轉成本較高；我們完成高難
度的晶圓廠排放廢水，接著最終目標是處理南科放流水，從中找出流程簡 南科十四廠五期再生水系統 攝影 / 洪湘寧
化且兼顧水質的處理方式，採用活性汙泥 - 薄膜生物反應器 BIO-MBR 為
基礎，結合生物濾床 BAC 及離子交換法，去除廢水雜質純化水質；有效降解有機物，控制小分子有機
碳氮物含量水準。於 2016 年 12 月模廠進行生物薄膜法 (BIO-Membrane Bio Reactor) 搭配生物活性碳
(Bio-Activated Carbon) 運轉測試，透過流程簡化，成功將造水單價再降低約 40-50%，所得再生水的產
水水質符合預設目標：TOC <20ppb，尿素 <5ppb，導電度 <5µS/cm，產水率為 65%-70%，成功達到
工業用水標準。而其排放水水質優於預設目標，水質推估可達 COD <30 ppm，NH 4 -N <5 ppm，NO 3 -N
<10 ppm，符合納管 / 放流標準。
關鍵詞／再生水、放流水、總有機碳、生物薄膜法、生物活性碳
Keywords/ Reclaimed Water, Effluent Water, Total organic Carbon, Membrane Bioreactor System,
Bio-Activated Carbon
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文│楊秉駪 萬棟勳 │ 南科廠務四部 新廠營建部│
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