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表 2、模廠造水單價試算
AOP Pilot 新建置AOP系統 原建置AOP系統 Remark
造水單價試算
(單位:元/M ) 3 再生水運轉費用 再生水運轉 再生水運轉 再生水運轉
南科放流水 費用精煉用水 費用精煉用水 費用精煉用水
(MBR+BAC) (AOP-1) (AOP-2) (AOP-3)
總運轉費用(A+B+C) 37.50 64.72 68.96 64.96 AOP Pilot design: 24CMD
(回收+濃水生物處理) AOP-1: H2O2+UV(185nm)
AOP-2: O3+UV(254nm)
扣除廢水納管費用 37.50* 50.22 54.46 50.46 AOP-3: OBr+UV(185nm)
(估計:14.5元/M3) A: Electron cost
B: Chemical cost
C: Supplies cost
備註 南科放流水未被徵收汙水納管費用
科放流水的產水水質皆可達標,如 結論 參考文獻
表1 所示,並且手動添加尿素測試
[1] 梁仲暉,台灣地區廢污水再利用潛勢整
BAC 的效益,其去除尿素效益可達 體評,2010
97%,與高級氧化法的成果接近, [2] 萬棟勳,新工季刊,放流水再生利用 -
2016 年 12 月模廠進行連續運作 高級氧化法 (AOP) 的應用,2015
且運轉成本比高級氧化法減少 50% [3] 萬棟勳、蕭千城,新工季刊,工業再生
測試,至 2017 年 1 月測試結束,
以上,因此導入 BAC 是有助於流 水研發 - 高級氧化法模廠的設計與運轉,
原南科放流進水水質 TOC 約 3~5 2016
程優化,且能兼顧水質的方法。 [4] 工業污染防治第 109 期 (June 2009) 49
ppm,尿素約 30~50 ppb,導電度
薄膜生物反應器 (MBR) 於廢水處理之技
約 4000~4500 μS/cm,再生水水 術評析
質其導電度 <5 μS/cm,遠低於目 [5] 工業污染防治第 88 期 (Oct. 2003) 17 工
再生水廠效益改良呈現 業廢水回收至製程再利用之高效率生物
標值 250 μS/cm,TOC<20 ppb, / 物化複合處理技術
計算造水單價需考量運轉花費,其 亦小於目標值 0.5 ppm,尿素可達
中可以分成三個部分討論:用電費 成 < 5 ppb 之目標,其產水率約
用、化學品費用、耗材更換費用。 65%-70%,成功達到目標。
原建置 AOP 系統中,因使用臭氧 檢驗新設置 BAC 系統對於尿素去
產生機及 UV,耗電量大,因此電 除之成效,於 1 月 24 日南科放流
費用量多;需要化學品加藥如雙氧 水中增加 340 ppb 之尿素進行測
水、溴化鈉等,使用藥劑較多;耗 試,結果顯示系統可將其尿素降低
材費用,皆需要後段的活性碳與混 於 5 ppb, 效 益 可 達 97%, 也 證
床樹脂吸附;新增設的 BAC 僅增 實導入 BAC 系統,確實可以簡化
加活性碳更換耗材費用,無使用化 處理流程,並有效去除水中的 TOC
學藥劑與沒有大量耗電運轉系統, 與尿素,間接取代高級氧化法,成
故新建置 AOP 系統可成功降低造 功降低造水單價。
水單價。
模廠測試結果可提供未來南科汙水
因南科放流水其 TOC 將低於晶圓 廠放流水再生之可行方案,透過測
廠區放流水,處理流程可再精緻 試、微調系統單元及參數,確定設
化,新增 BAC 系統,簡化原設計 計方案之可行,在運轉中找出最佳
處理流程,達到降低運轉花費,經 操作參數,亦可降低運轉成本,將
南科放流水導入測試,造水單價為 理想再生水廠推行至實務面。
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NTD 37.5/M 表2 ,相較於原建置
AOP 系統花費可降低 40% 運轉花
費,若以扣除廢水納管費用比較,
仍可降低 25%。