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圖 6、第四類回收廢棄物庫房物料回收流程圖

廠務工程師
拆移機廠商 倉儲管理課人員 廠務拆移機廠商
回收廢棄物 現場將物料破壞至無法再使用 確認物料與清單相符及 依物料清單驗收物料 物料單上傳裝機
庫房物料 破壞至無法使用封存
或以明確量化單位紀錄物料單 物料單簽名 系統存
物料單簽名

表 5、南科廠及竹科廠 Hookup 拆機物料回收初步成果

物料/ GAS DP EXH Power GAS View PPL GAS 節省裝機 拆機物料
回收現況 panel Gauge PIU Valve Panel 真空球 門型架 物料(台) 使用率(%)

回收(數量) 9,490 2,113 3,990 468 3,036 110 5 154 100.00%

領用(數量) 1,942 1,234 2,222 0 0 30 0 85 55.50%
庫存(數量) 7,548 879 1,768 468 3,036 53 5 69 44.50%

拆移機物料回收 回收物料裝機之計價規範，以利拆 參考文獻
機物料回收驗收 表5。 [1] S.C. Chen. (2017). TSMC FACILITY
初步成果 HOOKUP RECYCLED MATERIAL OF
TOOL DISCON-NECTION HANDLING
C.I. (Document No: F- GHK-01-03-013)

統計 2017 年，新竹及台南廠區初
步統計回收物料，其價值約為 538 結論
M.NTD，其中已使用於新裝機回
收物料共計 7 項，分別為氣體系
為有效調整各廠機台配置符合生產
統一般氣體盤面 (B.G DP Panel)、
需求，廠區間機台轉移勢必會持續
閥 件 (GAS Valve) 及 制 式 門 型 架
進行。拆移機於二次配開始，拆機
(Support)、 排 氣 系 統 機 械 錶 頭
後物料點交入庫及後續領用物料裝
(Exhaust gauge)、 電 力 系 統 中 外
機，需要庫房完善物料管理系統；
掛裝置 (PIU) 及真空系統 (Pumping
裝機後的驗收計價等，需專案管理
line) 的真空球閥及視窗地板 (View
課與採購於發包時與廠商議訂價格
Panel)，共計降低裝機費用支出
及計價規範；後續裝機課於裝機前
298 M.NTD， 約 佔 總 回 收 物 料
確認回收物料庫存，落實物料活
55.5 %。
化；內部稽核於整個物料活化執行
數字顯示，目前回收物料使用於新 流程，協助各單位完善物料管理規
裝機比例約 55.5 %，為提升活化 範，所有人於整個過程中均扮演重
效益，目前新裝機使用物料須優先 要角色。
確認廠務中央庫房 ( 回收 ) 物料庫
目前待評估物料尚有歸廠商帶回的
存不足裝機使用，方可開立購買物
12 項與報廢庫房的 17 項，二次配
料訂單，以落實拆機物料使用於新
持續由專人評估其活化方式，持續
裝機。
完善回收入庫流程，簡化物料領用
二次配更進一步與專案管理課合 機制以增加回收物料使用率，持續
作，於 2018 拆裝機發包計價，全 提昇拆移機物料活化效益。
面廢除物料折價歸廠商帶回，將所
有拆移機物料一律回收至 tsmc 指
定地方進行活化評估；更於計價方
面，加入拆機物料簡易處理及使用

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2017 87