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技術專文

表 2、拆移機隨機台運送物料 表 4、拆移機回收台積廢棄物庫房物料

系統 項次 物料分類 系統 項次 物料分類

Chemical T-BOX transfer with tool Chemical PFA Waste Pipe 回收廢棄物庫房物料

Chemical Leak Sensor
Chemical PVC Waste Pipe
Foundation Seismic
Chemical PVDF Waste Pipe
Pumping Line O3 Destructor
Pumping Line welding bellow (Fur) Chemical SUS Waste Pipe
Pumping Line Check valve
Chemical Support & other material
UPW Filter Housing & Module
E-SENSOR electric wire

表 3、拆移機機歸廠商帶回物料 Foundation broken fab floor

GAS PFA Waste Pipe
系統 項次 物料分類
GAS SUS Waste Pipe
Exhaust Bellow/Tee/Pipe (Damper include) belong to vendor

Exhaust Support & other material GAS Support & other material
Foundation Support & other material
Plastic Leakage panel (PP)
Foundation platform
Plastic Waste Pipe (PVC/PP/PVDF)
Foundation Supporting rack (E4)
Foundation Isolated platform (E6) Plastic Support & other material
PCW Support & other material
Pumping Line Waste Pipe (l/l. TR pipe)
PCW other material (SUS)
POWER Cable Tray Pumping Line Support & other material
POWER socket
UPW Waste Pipe (PVDF/PP)
POWER electric wire
POWER Support & other material UPW Support & other material

共計7項 表2 ；其物料回收流為廠 該項物料回收流程為廠務 (FAC) 工 為回收廢棄物庫房物料，如化學
務 (FAC) 工程師於拆移機後，現場 程師於拆移機現場確認物料項次及 管路接液內管 (PFA)、純水系統管
確認物料項次、數量並直接點交機 數量無誤後，為避免物料遺失或遭 路 (PVDF/PP) 及 排 水 管 路 (plastic
台設備工程師後，後續物料隨機台 置換，需依規定封存物料，並於後 waste pipe) 等…，共 17 項 表4。
同步運送供後續裝機直接使用。 續開立放行單出廠；如物料於拆移
回收流程為廠務 (FAC) 工程師於
機現場，無法封裝時，須以可簡易
拆移機現場確認物料項次及數量無
量化之計量單位紀錄於物料清單，
第三類、歸廠商帶回 清單於物料出廠時同步檢附物料清 誤，並於拆移機後現場確認廠商
( belong to vendor) 物料 單作為出廠憑據 圖 5。 將物料破壞至無法使用後封存，
避免物料與新品混用，其中無法破
拆移機後物料需經廠外處理或無
壞、 封 存 之 物 料 ( 如 Pumping line
法於新裝機時直接再使用，於發
第四類、回收廢棄物庫房 pipe)，須以明確量化單位紀錄於物
包時經採購部門與廠商議價後物
(waste warehouse) 物料 料清單，並於回收至 tsmc 廢棄物
料歸廠商折價台積，其中如機台鋼
庫房時檢附物料清單作為報廢依據
構 (foundation)、製成冷卻水盤面 拆移機後，無法再使用物料或其回
圖6。
(PCW DP) 及電力系統電線 (cable) 收可行性評估中物料，於拆機後回
等，共計 12 項 表3。 收至台積廢棄物庫房報廢，歸類

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