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技術專文

圖 1、拆移機物料分類依據及回收處理方式

拆移機物料分類依據及回收處理方式

可直接使用/ 拆價台積/ 無法再使用/
分類依據 可隨機台安裝使用
簡易處理後可使用 物料歸廠商 無回收經濟效益

物料分類 台積回收使用 隨機台運送 物料歸廠商帶回 廢棄物庫房

處理方式 回收廠務中央庫房 現場點交設備工程師 開立放行單出廠 回收台積廢棄物庫房

機台拆移機 圖 2、拆移機物料回收流程
物料現況

機台拆移機碼 台積工程師依 拆機後台積工 物料入庫
(FAC code)公告 裝機圖面(CAD) 程師現場確認 清冊更新
廠商依裝機報告 物料與清單相 紙本上傳系統存查
2016 年 2 月起，拆移機物料中除 檢核物料清單 確認物料清單 符並簽核紙本 (移機後14天內)
排氣系統機械錶頭 (Exhaust gauge)
及 電力 系 統中 外 掛 裝置 (PIU) 已
進行回收再使用，其中可直接再
使用物料，如電力系統資料擷取
器 (DAQ)、 交 流 低 壓 配 電 箱 (AC 全面針對所有拆移機物料進行分類 移機機台需求產生，並於 TII 大表
BOX) 均以極低價格 ( 約新品 5% 價 及活化評估，並依其特性及裝機 上新增拆機碼 (FAC Code) 後，拆
格 ) 折價台積後，拆機物料歸廠商， 再使用可行性，正面表列其回收流 移機廠商依裝機報告 (QC report)
廠商於拆移機後將物料帶回簡單整 程，進行物料活化再利用。 檢核物料清單，後續廠務 (FAC) 工
理後續新裝機再使用；其中經簡易 程師依裝機報告 (QC report) 確認
二次配 (Hookup) 拆移機共計 13 工
處理後可再使用物料，如超純水隔 物料清單，並於拆移機現場，依物
種，竹科廠及南科廠實際執行拆移
膜 閥 (UPW Diaphragm valve)、 超 料清單確認現場物料與清單相符，
機廠商共約 30 幾家，經由竹科廠
純水調壓閥 (UPW Regulator) 及製 封存物料後依規定處理方式，運送
及南科廠大量拆移機 ( 約 4000 台 )
程冷卻水盤面 (PCW DP panel )， 至 tsmc 指定地點或現場點交機台
後物料與廠商討論後，共計歸類出
均於拆移機後報廢至台積廢棄物庫 設備工程師；並於拆移機後，廠商
76 項，再根據物料回收方式、效
房，並於二次裝機時，發包廠商使 上傳物料單至裝機 (QC) 系統存查
益及回收活化可行性進行評估，將
用新品，其中一半物料均裝機後使 圖2。
76 項物料歸類成 4 種處理方式，
用未達 2 年，其品質均符合驗收及
使用標準，徒增大量物料報廢。 分別為台積回收再使用、隨機台運
送、料折價台積歸廠商帶回、回收
台積廢棄物庫房 圖1 。
各項拆移機物料

拆移機物料 分類及活化方式
回收處理分類依據 拆移機物料

回收流程 第一類、台積回收再使用
(tsmc reuse) 物料
這些裝機後使用未達 2 年物料，
於拆機後折價歸廠商帶回或報廢庫 拆移機物料共計 76 項，其中物料
房，除了將大量可用物料報廢外， 二次配 (Hookup) 為能有效將所有 經評估可直接使用、或經簡易處
也造成二次裝機費用增加，因此， 拆機物料納管，依據物回收處理方 理後可於新裝機再使用物料，歸類
2017 年 2 月起，二次配 (hookup)， 式，規劃回收活化流程，當廠區拆 為第一類台積回收再使用物料，

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