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表 1、拆移機台積回收再使用物料

系統 項次 物料分類 系統 項次 物料分類

Cover SUS cover tsmc reuse heating jacket ELBOW, Valve, Bellow tsmc reuse

E-SENSOR E-SENSOR*(EXH ONLY) Hot Gun Hot Gun
E-SENSOR DAQ Hot Gun temperature controller
Exhaust GAUGE PCW DP Panel (w: flow meter, w/o: flow
meter)
Exhaust Welding bellow (Fur only)
PCW high pressure pipe (PVC)
Exhaust Galv st & SUS Damper
PCW Pressure Gauge
Foundation View Panel
PCW high pressure pipe (SUS)
Foundation View Panel
PCW Filter Housing & module (Fur/Litho)
Foundation Fab floor
Plastic PV DP Panel
GAS DP Pane (& Reaulator)
Plastic PP Drain exhaust Box
GAS e-sensor (與panel一起回收) POWER AC Box
GAS Dia Valve POWER AC Box內BB Type NFB

GAS Ball Valve POWER I-LINE NFB
GAS Bellows Valve POWER QOB NFB
GAS FAB SUS GAS Support POWER PIU

Local Scrubber Local Scrubber Pumping Line Vacume valve
heating jacket heating jacket (Pump to LSC) UPW Dia Valve & Check Valve
heating jacket heating jacket (Chamber to Pump) UPW UPW Pregulator
heating jacket Inter face Fab Floor Pesdestal

heating jacket temperature controller 3 in 1 Plate

如數位錶頭 (e-sensor)、風管錶頭
圖 3、台積回收再使用物料回收流程圖
(gauge) 等…，共計 40 項 表1 ；其
回收流程為廠務 (FAC) 工程師於拆
廠務工程師 廠務中央庫房人員 廠務拆移機廠商
台積回收 封存物料 依物料單驗收物料入庫 物料單上傳裝機 移機現場確認物料項次及數量與物
再使用物料
物料單簽名 物料單簽名 系統存 料清單相符後依規定封存物料 圖3~
圖 5 ，如物料無法封裝時，須於拆
機現場，以明確量化單位紀錄於物
圖 4、第二類隨機台運送物料回收流程圖 料清單 表1 ，於拆移機後點交 tsmc
中央庫房人員入庫造冊，供後續新

廠務工程師 設備工程師 廠務拆移機廠商 裝機領用。
隨機台 依料單檢核物料 依物料單驗收物料 物料單上傳裝機
運送物料
物料單簽名 物料單簽名 系統存
第二類、隨機台運送
(transfer with tool) 物料
圖 5、第三類歸廠商帶回物料回收流程圖
裝機時依機台特性裝訂製物料歸類
為隨機運送物料，拆移機後直接隨
廠務工程師 廠務工程師 廠務拆移機廠商
歸廠商 依料單檢核物料 依物料單開立放行 物料單上傳裝機 機台運送至新裝機廠區，於二次裝
帶回物料
物料單簽名 單出廠 系統存
機時同步裝設使用，如真空管路閥
件 (pumping line check valve) 等…，

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2017 85