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Tech
Notes
技術專文

Recycled

Material

Activation

of Disconnection

Tool

拆移機資產活化再利用

文│陳仕洲│新廠工程管理部│
中科十五 A 廠拆移機庫房錶頭 攝影 / 洪湘寧

近年半導體製程演進快速，調整機台配置 (layout) 以滿足產能需求已成常態，加上廠區無塵室 (fab) 空
間有限，進而衍生大量拆移機發生，統計 2016 年 1 月至 2017 年 12 月，新竹及台南廠區約 2,000 多
台拆移機，其中超過一半均為裝機完成未達 2 年機台，除了造成二次裝機費用增加也衍生大量拆機物
料報廢；2016 年 2 月起，二次配 (hookup) 初步對於拆移機物料進行回收 ( 如 PIU, gauge)，更於 2017
年 2 月時，將所有拆機物料分類成 76 項，並依據物料特性規範其處理方式，其中經簡易處理後可再
使用於新裝機共計 40 項 ( 約 52%) 及隨機台運送 7 項 ( 約 9%)，兩者共計活化 47 項物料 ( 約回收
61%)；尚有物料歸廠商帶回 12 項及運送至廢棄物庫房報廢 17 項，共計 29 項物料待評估其回收可行
性，以提昇拆移機物料活化效益。

關鍵詞／二次配、回收、拆移機、活化
Keywords/ Hookup, Recycle, Relocation tool, Activation

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