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Editor's 004 Tech 005 New 094
Column Notes Visions
編者的話 半導體業揮發性有機物高效率尾氣處理系統 006 製程廢氣處理設備阻塞改善 056 低溫電漿加觸媒―節能減碳新技術 096
洪男雄/竹科廠務二部 的設計挑戰與創新 與保養頻率有效減量 Application of Non-thermal Plasma
The Challenge of Semiconductor VOCs Exhaust Local Scrubber Clogging Improvement and PM Catalysis for Energy Saving and
Greenhouse Gas Reducing
Treatment System & Innovation of High Removal Frequency Reduction
Efficiency 王仁暉/南科廠務三部 謝曜謙/竹科廠務一部
楊詠翔/新廠工程管理部 張木彬/國立中央大學
燃燒水洗式洗滌塔操作參數與副產物探討 066
正負2℃―冰水系統最佳化控制創新方法 016 The By-product and Parameter of Burning Type
Innovative Method of Optimization Energy Saving Local Scrubber
Control for Positive and Negative 2°C - Chilled 范銘哲 王仁暉 楊孟堯/南科廠務三部
Water System
莊哲嘉/竹科廠務三部
水力薄膜對於排氣風管無機酸鹼 076
去除效率提升之探討
罩泡塔應用於立式洗滌塔處理效率 028 Application of Demister in Removal
改善研究與探討 Performance Enhancement of Inorganic Acid
The Study for Enhancement in the Removal and Base in Scrubber
Efficiency of Central Scrubber with Bubble Tower 張皓隆/南科廠務三部
許顥儒 潘衍霖 陳能泉/中科廠務一部
高效濾網於機台排氣粒狀物減量之應用 084
談異丙醇化學濾網使用效率提升之研究 036 Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter
Research on IPA Chemical Filter Efficiency Reduction
Improvement 陳昭文/中科廠務三部
林瑞昆/竹科廠務三部 吳曜安/新廠工程管理部
高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善 048
之探討與驗證
CONTENT The Application of High-temperature Desorption
for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment
System in Semiconductor Fab Facility Systems
目/ 錄 陳仲祥 陳元昊/南科廠務一部
300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 3
