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             Notes
             技術專文


             表 1、各廠排放占比（TSM 2017 Q3 申報數據推估）


                 項目         FAB-A  FAB-B  FAB-C  FAB-D  FAB-E  FAB-F  FAB-G  FAB-H  FAB-I  FAB-J  FAB-K  FAB-L  Avg.

                 揮發性有機物     58.1%  51.5%  42.0%  22.6%  37.2%  10.1%  23.2%  26.9%  48.3%  29.4%  67.1%  41.0%  34.1%

                 五酸及其他      41.9%  48.5%  58.0%  77.4%  62.8%  89.9%  76.8%  73.1%  51.7%  70.6%  32.9%  59.0%  65.9%



            目前公司所採用的沸石轉輪搭配焚                  收紫外線功能，可保護人類及動植
                                                                              表 2、揮發性有機物之分類
            化系統在操作參數最佳化後其效率                  物免於陽光中強烈紫外線的侵襲，
            約可維持在95%~96%，已高於台                但在對流層(海平面-離地表11km)
                                                                                  分類          蒸氣壓(mmHg)
            灣法規的要求，但放眼全球，若依                  的臭氧卻會對人體的呼吸系統產生
            照U.S.  EPA的要求其處理效率須達             威脅，此外在對流層的高濃度臭氧
                                                                                  揮發性有機物      >10 -1
            98%以上。顯示出我們依然有改善                 也會破壞建築物以及穀物的生長。
            及進步的空間。                          降解後的有機汙染物質以及光化學                      半揮發性有機物     >10 -7
                                             氧化物還有可能形成二次有機氣                       非揮發性有機物     <10 -1
                                             溶膠(Secondary Organic Aerosols;
                                             SOAs)。VOCs也會造成土壤或地下
            文獻探討                             水的污染，並是令煙霧問題惡化的
                                             關鍵性污染物。                         害空氣污染物之情形，研訂排放標
                                                                             準加強管制。HAPs排放標準之訂
                                             世界衛生組織(WHO)、美國國家科
            VOCs的危害                                                          定，以降低人體在環境中暴露濃
                                             學院/國家研究理事會(NAS/NRC)
            VOCs為有機碳化合物的總稱。一                                                 度，納入健康風險及採取容許環境
                                             等機構一直強調VOCs是一類重要
            般係指在20℃、760mmHg之標準               的空氣污染物。                         濃度值，再依據健康風險評估結果
            狀態下，蒸氣壓大於0.1mmHg以上                                               及防制技術可行性，訂出各項有害
                                                                             空氣污染物之製程排放標準。
            之有機化合物 表2 。
                                             有害空氣污染物(Hazardous Air           HAPs管制項目共計七十二項重要
            VOCs是重要的空氣污染來源之
                                             Pollutants, HAP)                有害空氣污染物，依期程分三階段
            一，VOCs通常被分為兩類：甲
                                                                             施行：第一階段於109年1月1日施
            烷或非甲烷(non-methane  volatile      有害空氣污染物(Hazardous  Air
                                                                             行，優先管制29項有害空氣污染
            organic  compounds,  NMVOC)。     Pollutants,  HAPs)依據美國修正空
                                                                             物；第二階段於110年1月1日施
            甲烷是促進全球暖化現象的溫                    氣清淨法CAAA之定義為「任何空
                                                                             行，管制20項有害空氣污染物；第
            室氣體；而NMVOC ，如：苯                  氣污染物引起或導致死亡率增加，
                                                                             三階段於112年1月1日施行，管制
            (benzene)、甲苯(toluene)及二甲苯        嚴重危害人體健康而不可回復，或
                                                                             23項有害空氣污染物。
            (xylene)等致癌物，若人體長期暴              造成喪失能力但能恢復之徵狀，稱
            露其中會導致白血病。                       為有害空氣污染物」。一般而言，                 另外，我國行政院勞委會所頒佈之
                                             HAP包括VOCs、多環芳香烴化合               「勞工作業環境空氣中有害物質容
            同時VOCs對人體有有刺激性和毒
                                             物、重金屬、及戴奧辛等。                    許濃度標準」中所列之有害物，絕
            性。VOCs會令可吸入懸浮粒子形
                                                                             大多數係揮發性有機物，並且對揮
            成，引起眼睛不適、上下呼吸道病                  行政院環保署於1994年6月依據
                                                                             發性有機物中之有機溶劑制訂「有
            徵和增加哮喘病發機會，VOCs也                 各種HAP對人體健康及環境品質的
                                                                             機溶劑中毒預防規則」。故  VOCs
            會引起人體免疫失調，影響中樞                   危害性大小，並考慮各種  HAP  的
                                                                             的管制工作在國內已成為政府現階
            神經系統功能，使人體出現頭暈、                  致癌性潛能、運作量多寡、生物
                                                                             段的重要環保課題之一 表3 。
            頭痛、嗜睡、無力、胸悶等症狀；                  濃縮性大小、及急毒性程度等因
            還可能影響消化系統，出現食欲不                  素，已篩選出30種建議優先調查的
            振、噁心等，嚴重時可損傷肝臟和                  HAPs，詳如 表3所示，其中有  21            VOCs 處理技術
            造血系統。                            種為VOCs，4種為重金屬，3種為
                                                                             現行可商轉VOCs控制技術之
                                             酸氣，及致癌性多環芳香碳烴化合
            有些VOCs會在太陽照射下和大氣                                                 優缺點比較
                                             物與奈等兩種污染物。
            中的NO 2 行光化學反應而產生臭                                                目前業界已商轉的VOCs控制技術
            氧，儘管在平流層（離地表11km-                由於HAPs對健康影響甚大，環境                有吸附法、濕式洗滌法、焚化法、
            50km之間的大氣）的臭氧具有吸                 保護署特別針對固定污染源排放有                 生物處理法、冷凝處法法及串聯法



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