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竹科七廠接待大廳 攝影 / 洪湘寧
洪男雄│竹科廠務二部│
編/者/的/話
2018 年 3 月 14 日，計畫設立於新北市的深澳電廠通過環評大會的審查，引起社會大眾的廣泛討論，因
為這個計畫涉及兩個備受關注的主題，如何提供穩定的能源供應，又同時降低生產過程中產生的污染。
本期季刊主題，亦環繞在提升能源的使用效率，同時透過創新思維，針對工廠內前、後段的污染防治設
施進行改善，有效地降低半導體生產過程中產生的環境衝擊。
本期共收錄十篇文章，技術專文聚焦於機台端產生之微粒捕集技術，現址式空氣處理設備（製程廢氣處
理設備）的優化，對於後端的中央處理單元，率先利用罩泡塔、水力薄膜提升酸鹼洗滌塔的去除效率，
另針對揮發性的有機污染物防治，探討下一世代的雙轉輪設計。對於節能議題，探討透過冰水主機即時
變溫改變，達成低能耗的運轉目標。新象新知則介紹低溫電漿技術，透過理論推導與機台測試，探討未
來此一技術應用於現址式空氣處理設備的可能性。
隨著 N10、N7 逐步量產，製程世代的推進，伴隨著更複雜的工序及更多原物料的使用，公司在未來勢
必要面對更多來自節能及減污方面的挑戰。300mm Fabs 廠務自從在 2014 年合併為一個組織後，廠務
同仁透過更多的交流與學習，分享工作上的構想及方法，可以感受到同仁們在觀念與能力上已有所改變
與提升，期許廠務團隊能攜手並進，一起迎向下一個世代的挑戰。
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