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行高溫熱脫附兩天後，重新檢視沸
圖8、沸石轉輪脫附溫度調整圖
石轉輪與熱交換器狀態，修補調整
(°C) 後，再次開機驗證去除效率，結果
300
顯示效率來到了96%，表示高溫熱
脫附的構想，具有高度的可行性。
270
調整脫附溫度前，需確認脫附溫度
致動器無異常，與熱交換器盤管結
240
晶清除完成後，即可開始進行沸石
轉輪脫附溫度調整，由原先設定之
210
195℃緩慢調升至250℃。脫附溫
度調整過程中，仍須注意調整幅
180
度，一次調整不得大於20℃，如
圖8所示；溫控器與溫度調控之連
150 桿元件，皆需要時間自行追載與調
12/21 12/21 12/21 12/21 12/21 12/21
09:00 11:00 13:00 15:00 17:00 19:00 整開度，避免過大的調整幅度，使
得連桿開度異常或溫控器之PID參
數失控，讓轉輪一時蓄積大量不平
圖9、沸石轉輪脫附出口溫度調整圖
衡的熱能，會讓脫附溫度失控，導
致脫附溫度直線上升，最終觸發安
(°C)
120 全機制，自行熄火停機。

沸石轉輪脫附溫度調整完成穩定
96
後，就能夠進行轉輪脫附出口溫度
的調升，與脫附溫度的調整不同，
72
脫附出口溫度調整，需透過調降轉
輪轉速才可達成，也遷就於每一顆
48
沸石轉輪蓄熱能力不同，因此調整
沸石轉輪轉速Hz時，需要特別注
24 意，不可一次調整大於2 Hz，避免
過大幅度的調整，讓轉輪一時蓄積
0 大量不平衡的熱能，會讓脫附出口
12/22 12/22 12/22 12/22 12/22 12/22
09:00 10:00 11:00 12:00 13:00 14:00 溫度失控，導致觸發安全機制，自
行熄火；此外，每次調整後之溫度
觀察期，皆至少需要一個小時以上
圖9，此舉的目的在於，讓沸石轉輪
能夠完全、平均的受熱後，得到穩
所需之工作天，整個流程大約15個 脫附出口溫度外，也增加高沸點
定的脫附出口溫度，方能繼續進行
工作天，能夠完成高溫熱脫附，並 VOC與熱能之接觸時間，將其由蜂
調整，反之將會使脫附出口溫度失
且驗證效率。 巢孔洞結構中脫附、裂解，達成沸
控，或沸石轉輪上之VOC可能會有
石轉輪活化。
根據參考文獻，我們計畫將脫附 自燃、悶燒等情形產生，因此，脫
溫度提升至250℃(操作許可參數 附出口之溫度調整，特別需要注意
上限)，給予沸石轉輪在脫附入口 Hz調整與操作，才不會讓前面所做
處足夠的熱能，進行高溫熱脫附； 的努力都浪費了。
同時，在脫附溫度到達250℃穩定 結果與分析 經過高溫熱脫附後，沸石轉輪表面
後，接續調整沸石轉輪轉速，目的
以及V-zone與圓周seal皆有變形、
在於拉高脫附出口溫度，使沸石
破損，因此需要更換與修補，如 圖
轉輪脫附區進出口，能夠維持高 經過250℃高溫熱脫附三天後，開 10(a, b)、圖11所示。變形或破損的
溫，達到脫附殘留之高沸點VOC 機導入檢視效果，發現沸石轉輪去 seal雖不起眼，但是足以影響去除
的效果。脫附出口溫度本次目標為 除效率提升至93%，顯示阻塞於 效率，原因在於氣密遭到破壞，微
100℃，由原先之40℃緩慢調升， 轉輪蜂巢孔隙中之高沸點VOC，已 小的間隙改變，使得部分VOC直接
調整方式為降低沸石轉輪轉速，由 經有效的被脫附出來，才能夠在去 洩漏至轉輪出口，或是脫附溫度調
3 RPH調降至1.5 RPH，除了提高 除效率上有顯著的成長；接續再進 節受到短流變小影響，降低脫附效

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 53