Page 49 - Vol.30
P. 49
The Application of High-
temperature Desorption for
Honeycomb
Zeolite
Concentrator Treatment
System in Semiconductor Fab
Facility Systems
高溫脫附法應用於沸石轉輪
處理效率改善之探討與驗證
為了使揮發性有機物 (VOC) 處理設備保持良好的去除效率，例行保養 (PM) 是不可或缺的。然而，有些高
沸點 VOC 是無法透過沸石轉輪清洗被清除，甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象，迫使去除效率漸漸
衰減至 91%。因此，本文將以脫附溫度 250℃，搭配提升脫附出口溫度至 100℃，執行高溫熱脫附，用以
脫附出沸石轉輪中殘留之高沸點 VOC，讓沸石轉輪重新活化，成功使去除效率回到 96%，整體提升去除效
率達 5.2%，驗證了高溫熱脫附之可行性。
關鍵詞/ 高溫熱脫附、沸石轉輪、揮發性有機物、空汙防治
Keywords/ High-temperature Desorption, Zeolite Concentrator, Volatile Organic Compound(VOC),
Air Pollution Controller
文│陳仲祥 陳元昊│南科廠務一部│
前言 顯影劑、剝除液等有機溶劑種類也持續增加，常
見成分有異丙醇(IPA)、丙酮(Acetone)、丙二醇單
甲基醚(PGME)、丙二醇單甲基醚酯(PGMEA)、二
[1]
高科技的蓬勃發展，各式各樣的3C產品已是現 甲基亞碸(Dimethyl sulfoxide，簡稱DMSO)等 。
代生活中不可或缺，造就半導體產業的興盛，因 其中，如IPA、Acetone、PGMEA等都是親水性
此，相關製程不斷推陳出新，製程所需之光阻、 物質，而DMSO則為含有硫類和胺類之高沸點物
中山機電所畢業。每天都有新的學習，每天 工作是生活的一部分，
仲 祥 都是一種練習，讓我充滿前進的動力，接受 元 昊 永遠都有新事物、新挑戰，
更多的挑戰與課題，也感謝長官與同事的包 陳 Y.H. Chen 學習與其共處之道。
容與指導。
陳 C.H. Chen
300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 49
