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圖12、沸石轉輪VOC去除效率比較圖
(%)
99
96
93
90
改善前 改善中 改善後
無法藉由PM清除，還會隨著時間 109，2003。
[2] 白曛綾、林育旨、張豐堂、陳建志，沸
對轉輪造成慢性傷害，也是系統運
石濃縮轉輪焚化系統-操作績效自晚評估
轉上的一大隱憂。 管理制度參考手冊，第二版，頁1-70，
2003。
藉由這次高溫熱脫附的經驗，進行 [3] 王俞敏、陳文生，VOC沸石濃縮轉輪
含吸附物質之採樣、分析方法及結果討
了許多平常運轉時無法使用之操作 論，2006。
條件，而沸石轉輪轉速調整與脫附 [4] 日本西部技研公司，http://www.seibu-
giken.co.jp/corru/purosave_e.html
出口溫度，是一體兩面的關係，也
[5] Blocki, S.W. Hydrophobic Zeolite Adsor-
是整個過程中，最為重要且關鍵之 bent: A Proven Advancement in Solvent
Separation Technology; Environ. Proc.
步驟；轉輪轉速調降後，必須要整 12 (3), 226- 230,1993.
個沸石轉輪受熱平均後，才得以繼 [6] Mitsuma, Y.; Ota, Y.; Kuma, T.; Hirose,
T. Practice of the VOC Abatement
續調降轉速，以免轉輪面上熱能失
by Thermal Swing Ceramic Monolith
衡，使得殘留VOC自燃或悶燒之現 Adsorbers. In Proceedings of the 4th
Japan-Korea Symposium on Separation
象產生，因此，調整過程一定要在 Technology, Tokyo, Japan, pp 479-
現場觀察溫度趨勢以利於應變。 482,1996.
[7] Kuma, T.; Hirose, T.; Mitsuma, Y.; Ota, Y.
實驗結果顯示，高溫熱脫附成 Removal Efficiency of Volatile Organic
Compounds, VOCs, by Ceramic
功活化沸石轉輪，使去除效率由 Honeycomb Rotor Adsorbents. In
91%提升至96%，去除效率提升 Proceedings of the 5th International
Conference on Fundamentals of
達5.2%，順利脫附殘留之高沸點 Adsorption; LeVan, M.D., ed.; Kluwer:
Boston, MA, pp 465-472,1996.
VOC。成功的印證了文獻中所提出
[8] Lin, C.H., “Rational for limits to rein-
之可能性，甚至效果超出預期，也 forcement of tied concrete column,”
替未來VOC處理設備運轉上，多了 Ph.D. Dissertation, Department of Civil
Engineering, University of Texas, Austin,
一大利器，不僅排除惱人的高沸點 Texas, 1984.
VOC（PGME、PGMEA、DMSO [9] 張豐堂、林育旨、白曛綾、白寶實，蜂
巢狀濃縮吸附沸石轉輪受高沸點去光阻
等）殘留問題，讓沸石轉輪的運轉 劑之影響與預防措施，2001。
效益得到提升，補足例行PM上的 [10] 錢立行、陳庭鈞，排氣革命－揮發性有
機物減量新思維，300mm FABS廠務季
缺憾，也使去除效率衰減，不再只 刊第二十六期，頁50-59，2016。
有更換沸石轉輪這個選項，而是還 [11] 葉峮甫、林哲冠、周家祿，先進製程之
高沸點揮發性有機物處理技術應用，
有其他的可能。 300mm FABS廠務季刊第二十六期，頁
50-59，2017。
參考文獻
[1] 廖大惟、張豐堂、沈克鵬、粘竺耕、葉
智雄、林華宇，光電業沸石濃縮轉輪處
理系統效率提升改善實例探討，頁89-
300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 55
