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Tech
Notes
技術專文

Local

Scrubber

Clogging

Improvement and

PM Frequency

Reduction

製程廢氣處理設備

阻塞改善與保養頻率

有效減量

製程廢氣處理設備因為會有副產物的產生，而需進行預防保養，但若副
產物過於頻繁的阻塞問題發生，使得保養頻率升高，造成人力資源投入
與負荷過大，即為異常阻塞事件，因此必須要進行各項阻塞改善措施去
減量。本文即以南科廠所遇到的八項異常阻塞案例，透過觀察副產物阻
塞現象，以常見的改善手法，如沖吹、破壞、攔捕或加溫方式，應用於 中科十五廠六期廢氣處理設備燃燒式洗滌塔 攝影 / 洪湘寧
各種廢氣處理設備機型上，目的不在於期望能夠避免副產物的生成，而
是以能夠暢通製程廢氣排放動線，以及避免影響其它內部原件為前提。
最終改善措施的實施成功的將每年高達 81,411 小時的異常保養工時，
減量餘 13,197 小時的固定保養工時，減量成效高達 84%，共計 33 位
保養作業人員負荷減少。

關鍵詞／製程廢氣處理設備（現址式空氣處理設備）、副產物、阻塞、預防保養
Keywords/ Local Scrubber, Byproduct, Clogging, Preventive Maintenance
文│王仁暉│南科廠務三部│

前言

半導體製程在生產過程中會使用到許多化學物質，而這些化學物質在生產過後變成了製程廢氣，藉由真空
泵浦(Dry Pump)輸送到製程廢氣處理設備(Local Scrubber, LSC)，進行90%以上有害物質的削減處理，接
著進入排氣系統輸送到中央廢氣處理系統(Central Scrubber)進行最終處理，最後排放至環境，如 圖1 。

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