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圖3、沸石轉輪採樣圖      [10]             圖4、不同脫附溫度下,轉輪出口側不同問製之效率圖              [3]


                 Process                            1
                  Outlet
                                                   0.9
                              Process
                                                  Removal Efficiency (%)
                              Outlet               0.8
                 Middle       Middle               0.7                TR = 150

                                                                      TR = 210
                              Process              0.6                TR = 180
                                                                      TR = 240
                               Inlet
                                                      Regen  Cool               Process
                                                   0.5
                 Process                              0          0.25         0.5         0.75          1
                  Inlet
                                                                         Dimensionless angle (τ)


                                                                               端吸入乾淨空氣匯流,除可將附著
              圖5、沸石轉輪清洗架構圖       [9]
                                                                               於沸石轉輪內部之水氣帶出視為第
                                                                               二道清洗外,也可完成沸石轉輪乾
                                                    Fresh air in               燥之程序。
                                                    (for water washing-driving camer air)
                 Fresh air in
                                                                               錢立行等人於2016年的研究提到
                                                             Water supply
                                                                               了,利用低濃度的載流氣體,加
                                                                               上提升脫附風量,達到脫附區出
                                                            Process air out
                                                                               口溫度上升(T5)的效果  圖7 ,當T5
                                                                               溫度由40℃上升至55℃時,去除
                                                                               效率增加了0.30%,而排放量下降
                                                                               了10%,隨著T5溫度持續升高到
                                            Liquid Pad
                                                                               70℃,整體排放量下降了20%。
                                                                               證明了提高T5溫度,能夠有效提升
                                                                               去除效率,也可以脫附殘留轉輪之
              圖6、VOC去除效率與T5溫度關係圖        [10]                                             [10]
                                                                               高沸點VOC      。
                   98.0%                                                       葉峮甫等人於2017年提出了高沸
                                                                               點VOC之冷凝前處理         [11] ,整體概
                  Destruction Efficiency (%)  97.0%  T5=55°C       T5=70°C     依照沸點分流,小於150℃之VOC
                   97.5%
                                                                               念如  圖6 ,將上游來源端之VOC,
                                                                               直接送至沸石轉輪中處理,大於
                                                                   20%
                                                                               150℃之VOC則先經過冷凝處理
                   96.5%
                                          10%
                                                                               後,再進到轉輪中,以免高沸點
                                                                               VOC無法脫附完全,殘留於沸石轉
                   96.0%
                          40°C     50°C    55°C    60°C     65°C    70°C       輪中,造成去除效率衰減。
                                      Temperature of After-Desorption (°C)



                                                                               計畫方法
              效率再高也難免會有殘留情形產                   轉輪清洗流程如  圖5 ,V-zone與轉
              生,隨著時間慢慢累積,會反映在                  輪面之灑水頭將清洗水灑落,並以
              去除效率上,因此每半年執行一次                  二次風車之動力,將系統冷卻端之                 VOC處理設備的例行PM,除了清
              之轉輪水洗PM,即可清除吸附於                  乾淨空氣帶入為載流,把微細霧滴                 洗沸石轉輪外,就是熱交換器內結
              轉輪上之雜質,或是脫附後之殘留                  狀之清洗水攜入沸石轉輪孔道內實                 晶(SiO 2 )清除最為重要,熱交換器
              物質。                              施逆洗程序後,再從另一邊之吸附                 結晶除了會讓天然氣損耗增加,還



                                                                               300mm FABS FACILITY JOURNAL          JUNE  2018  51
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