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Tool Exhaust

HEPA Retrofit

in Particulate Matter Reduction

高效濾網於機台排氣

粒狀物減量之運用

近年來 PM2.5 超過空氣品質標準，環保署公告 2018 年 7 月 1 日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細
懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費，因應粒狀污染物減量趨勢，各廠需積極進行白煙粒狀物
改善。目前先進製程的粒狀污染物排放以單片式酸槽製程產生的硫酸銨結晶為最大宗，現行對策以設
置現址式濕式洗滌塔或氣旋式水渦流機 (FSI) 為主，其中水渦流機雖對 2.5μm 以上粒徑效果優良，但
對於 0.3μm 以下微粒只達 60% 去除率。本文從靜電集塵器、濕式洗滌塔之優缺點研討出發，取樣分
析 FSI 製程的粒狀物排放粒徑分佈，最後採 HEPA 技術研發針對製程排氣使用之現址式高效濾網，對
於 0.1μm 以下微粒去除率可達 95%，此研究成果可提供未來長期系統改善、建置之參考。

關鍵詞/ 細懸浮微粒、粒狀物防制技術、硫酸銨結晶、高效濾網
Keywords/ PM2.5, Particulate Matter Control Technology, Ammonium sulfate Powder,
High-Efficiency Particulate Air (HEPA)
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文│陳昭文 吳曜安 │ 中科廠務三部 新廠工程管理部│
前言 喘、過敏反應、咳嗽、打噴嚏，甚至頭痛、注意
力不集中、昏睡等症狀。環境的空氣污染物除
了臭味氣體外，一般人體是無法察覺，但身體的
眼睛好癢…天空灰灰的…咳嗽…噴嚏…過敏…， 健康卻在不知不覺中受損，對身體器官系統的傷
以上種種的現象是不是一再的發生於身邊周遭甚 害，間接的影響到人體的反應能力…、精神意志
至是自己身上，其實不是你生病了，“是空氣生 和工作效率。
病了”。根據「世界衛生組織」(WHO)在2013年 現在戶外有更嚴重的空氣汙染源“PM2.5”(Parti-
提出，研究發現在「空氣品質及環境」中使用人 culate Matter, PM)。“PM2.5”，中文名稱『細
員有「病態建築症候群」(Sick Building Syndrome) 懸浮微粒』，是指懸浮在空氣中，氣動粒徑小於
的症狀發生，包括眼睛乾或癢、喉嚨乾或痛、氣 等於2.5微米粒子(PM2.5)的固體顆粒或液滴的總

台北科技大學能源與冷凍空調研究所畢業，跨 最愛旅行。第一份工作就在中科廠務部，和十五廠
昭 文 曜 安
領域進入空污改善的環工專業，與所學的電 一起成長、茁壯、堅強、修心（同時增加體重）。因
機、機械空調非相關，雖然辛苦卻很充實，讓 吳 Yao-An Wu 為有公司夥伴對這片土地的熱愛與堅持，我們撥
我們勇敢探索過去、挑戰現在、改善未來。 開灰濛濛的天空，還給地球一片藍天。
陳 C.W. Chen

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 85