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技術專文

表 4、立式 SCR 無機酸液滴 ( 微粒 ) 分析

分析項目 無水力薄膜 模組化
洗滌塔入口 洗滌塔出口 去除效率 洗滌塔入口 洗滌塔出口 去除效率

水溶性粒狀汙染物 氨氣 46.99 48.33 2.90% 46.53 20.29 51.60%
(μg/Nm ) 3
氫氟酸 66.56 54.27 18.50% 82.65 31.45 52.30%
鹽酸 70.21 55.14 19.60% 198.65 125.65 50.20%
硝酸 71.52 55.27 19.80% 48.02 20.68 52.20%

硫酸 49.14 40.54 17.50% 93.81 43.72 51.40%

/立式SCR安裝水力薄膜後，0.1~1
圖9、臥式、立式洗滌塔模組化水力薄膜粒狀汙染物去除效率比較
um微粒(組成比例最高)去除率由
17~18%上升至50%；TSP (總懸
浮微粒)去除率由17~18%上升至
50~53%。如 圖9及 表5、6所示。 臥式
18% 53%
100%
16% 50%
80% 18% 50%
結論 60% 17% 51%
40% 18% 54%
22% 76%
20%
依檢測結果顯示硫酸排放主要為 0% 無水力薄膜 安裝模組化水力薄膜
微粒貢獻(99%)，因此強化中央洗
> 10µm 1~2.5µm < 0.1µm
滌塔Central Scrubber攔截微粒的 2.5~10µm 0.1~1µm TSP
效能，即可大幅降低硫酸排放量。
立/臥式中央洗滌塔導入新式模組
化水力薄膜，不但改善平面式水力 立式
薄膜安裝耗時不易安裝的問題，另
17% 50%
過濾接觸表面積加大、塔體壓損降 100%
16% 50%
低、處理風量加大、減低風車運轉 80%
17% 50%
負載更是附加優勢。 60% 11% 52%
16%
本計畫透過於臥式/立式濕式洗滌 40% 48%
19% 51%
塔導入新型多孔性demister增加 20%
無水力薄膜 安裝模組化水力薄膜
接觸比表面積，有效改善煙道硫 0%
酸微粒，硫酸液滴(微粒)去除率
由3.8%/17.5% 上升至50.3%/
51.4%。日後終極目標則是逐步強
化廠務設備削減污染物的效能，每 [2] 300mm Fabs廠務季刊 Vol.26：煙囪白 部工業局 P49~63.
煙及硫酸微粒防治手法改善P14~P19， [7] 鄭淵源 “濾材吸附有害氣體過程之數值
年排放總量削減增加30%直至零排 2017. 計算”交通大學機械工程研究所碩士論
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