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圖7、臥式、立式洗滌塔模組化水力薄膜最佳安裝位置

模組化水力薄膜
灑水頭

模組化水力薄膜 灑水頭

臥式 SCR 立式 SCR

圖8、臥式、立式洗滌塔模組化水力薄膜效率比較

70% 臥式 無水力薄膜 70% 立式 無水力薄膜
安裝模組化水力薄膜 安裝模組化水力薄膜
60% 60%
50.3% 53.3% 50.1% 51.4% 52.3% 52.2% 50.2%
50% 47.4% 50%
40% 40%
30% 30%
20% 15.6% 20% 17.5% 18.5% 19.8% 19.6%
10% 8.2% 7.9% 10%
3.8%
0% 0%
硫酸 氫氟酸 硝酸 鹽酸 硫酸 氫氟酸 硝酸 鹽酸

表 3、臥式 SCR 無機酸液滴 ( 微粒 ) 分析

分析項目 無水力薄膜 模組化
洗滌塔入口 洗滌塔出口 去除效率 洗滌塔入口 洗滌塔出口 去除效率

水溶性粒狀汙染物 氨氣 46.88 41.41 11.70% 48.73 26.19 43.40%
(μg/Nm ) 3
氫氟酸 125 114.75 8.20% 88.63 41.35 53.30%
鹽酸 200 184.21 7.90% 204.76 110.22 50.10%

硝酸 5.22 4.39 15.60% 45.07 23.78 47.30%
硫酸 12.99 13.47 3.80% 83.91 41.72 50.20%

硬體設備作局部修改，便能夠提升 /立式洗滌塔硫酸液滴(微粒)去除 除率亦有上升。
運轉中洗滌塔無機酸鹼處理效率之 率由原本由3.8%/17.5% 上升至
另外檢測結果顯示於粒狀汙染物去
最佳解決方案。因此結果顯示在新 50.3%/51.4%；如 圖8及 表3、表4
除率的提昇也有一定的效果，臥式
增模組化水力薄膜後，可讓臥式 所示，其他無機酸液滴(微粒)的去

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 81