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表 5、臥式 SCR 粒狀物粒徑分析比較表

分析項目 無水力薄膜 安裝模組化水力薄膜
洗滌塔入口 洗滌塔出口 效率 洗滌塔入口 洗滌塔出口 效率

3
TSP (μg/Nm ) 4743.2 3883 18.10% 4677.02 2195 53.10%
總微粒濃度
粒徑分佈 > 10μm 質量濃度 711.83 557.33 21.70% 591.83 141.17 76.10%
(μg/Nm ) 3

比例 15.00% 14.40% 15.70% 7.10%

2.5~10μm 質量濃度 502.67 410.84 18.30% 480.07 211.67 54%
(μg/Nm ) 3

比例 10.60% 10.60% 11.80% 12.80%
1~2.5μm 質量濃度 809.2 669.8 17.20% 805.8 394.4 51.10%
(μg/Nm ) 3

比例 17.10% 17.20% 17.20% 18.00%
0.1~1μm 質量濃度 2569.5 2118.36 17.60% 2553.23 1275.4 50.00%
(μg/Nm ) 3

比例 54.20% 54.60% 54.60% 58.10%

< 0.1μm 質量濃度 150 126.67 15.60% 126.67 63.33 50.00%
(μg/Nm ) 3

比例 3.20% 3.30% 2.70% 2.90%

表 6、立式 SCR 粒狀物粒徑分析比較表
分析項目 無水力薄膜 安裝模組化水力薄膜

洗滌塔入口 洗滌塔出口 效率 洗滌塔入口 洗滌塔出口 效率
3
TSP (μg/Nm ) 5015.27 4185.36 16.60% 5192.97 2594.3 50.04%
總微粒濃度
粒徑分佈 > 10μm 質量濃度 1129.28 911.11 19.30% 878.67 433.67 50.60%
(μg/Nm ) 3

比例 22.50% 21.80% 16.90% 16.70%
2.5~10μm 質量濃度 480.07 402.8 16.10% 656.3 339.36 48%
(μg/Nm ) 3

比例 9.60% 9.60% 12.60% 13.10%

1~2.5μm 質量濃度 787.67 702.67 10.80% 860.2 414.8 51.80%
(μg/Nm ) 3

比例 15.70% 16.80% 16.60% 16.00%

0.1~1μm 質量濃度 2494.93 2072.12 16.90% 2644.47 1329.8 49.70%
(μg/Nm ) 3

比例 49.70% 49.50% 50.90% 51.30%
< 0.1μm 質量濃度 123.33 96.67 16.10% 153.33 76.667 50.00%
(μg/Nm ) 3

比例 2.50% 2.30% 3.00% 3.00%

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 83