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Tech
Notes
技術專文
A Study of
Ammonium
Sulfate
Concentrated
Technique
硫酸氨提濃技術探討
前言
現代文明製造出許多高科技產品便利了人們的生活，但自然界的自體循環也因
此被打亂破壞，當某種物質被大量使用產生，超過自然界所能自行轉化的量，
其餘就會毒化危害到環境生態，破壞了大自然的平衡，例如氮循環就是個迫在
眉睫的危機。氮在廢水中以分子態氮、有機態氮、氨態氮、硝態氮、亞硝態氮
以及硫氰化物和氰化物等多種形式存在，而氨氮是最主要的形式之一。然而隨
著氨氮排入水體中將引發水中藻類及其他微生物的大量繁殖，形成富營養化的
污染，除了會使自來水處理困難，造成飲用水異味外，嚴重時會使水中溶氧度
降低，造成魚蝦類大量死亡，甚至會導致湖泊乾涸滅亡。隨著工業多元化發展，
產品生產製程及使用原物料眾多，廢水特性日益繁雜，除了傳統水質項目如
BOD( 生物需氧量 )、COD( 化學需氧量 )、SS( 懸浮固體 )……等處理項目，法
規逐漸增加其他項目如氨氮 圖1。各園區針對外排氨氮已於 2014 年進行第一
階段管制，並於 2017 年進行第二階段管制。
中科十五廠五期薄膜設備 攝影 / 洪湘寧
業界氨氮處理技術種類略分為三大類 圖2：生物處理、化學處理、物理處理。
隨著法規納管標準漸趨嚴謹，半導體製程中廣泛使用氨水及硫酸，造成排放廢水含有高濃度氨氮以及
因應資源活化再利用考量，建置廢硫酸去除雙氧水系統，將製程上排放的廢硫
Abstract 利用氨氮系統參數優化調整及硫酸氨回流等方式提濃硫酸氨 ( 濃度 33%)，除增加廢硫酸再利用量， 經全盤性的考量，最後採用脫氣膜去除氨氮方式建置氨氮處理系統。
廢硫酸廢棄物。業界普遍以脫氣膜方式去除水中氨氮濃度，進而衍生產出硫酸氨廢棄物。故本文介紹
酸回收再利用，供給脫氣膜用來吸附廢水中的氨氮，解決外排氨氮的問題，故
同時並減少廢硫酸清運外，亦能減少 39% 硫酸銨廢液，達廢棄物減量成效。
周
很榮幸能加入台積電廠務大家庭，
關鍵詞／硫酸氨、脫氣膜、蒸發、結晶
輝
Keywords/ Ammonium Sulfate, Degassing membrane, Evaporation, Crystallization
我相信「只要願意，只要堅持，極限就不會是極限」。
文│周劻輝│南科廠務五部│ 劻 Kuang Hui Chou 也很感謝工作上各方的指導與幫忙，
58 300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2018 59
